透明基板的图案化透明导电薄膜及触控面板制造技术

本实用新型专利技术透明基板的图案化透明导电薄膜及触控面板，透明基板设置有图案化透明导电薄膜，该透明导电薄膜藉由一可重复使用的屏蔽上形成有镂空的图案区，并将该屏蔽设置于透明基板上并进行溅镀或蒸镀，将导电材均匀附着堆积在一透明基板上，而形成所需的图案化透明导电薄膜。（*该技术在2018年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术有关一种透明基板的图案化透明导电薄膜，旨在提供一 种可应用于触控面板中的图案化透明导电薄膜。
技术介绍
按，近年来，感触式的人机介面，如触控面板(TouchPanel),已被 广泛地应用至各式各样的电子产品中，如全球定位系统(GPS)、个人数 字助理(PDA)、行动电话(cellular phone)及掌上型计算机(Hand-held PC) 等，以取代传统的输入装置(如键盘及鼠标等)，此一设计上的大幅改变， 不仅提升了该等电子装置的人机介面亲和性，更因省略了传统输入装置， 而腾出更多空间，供安装大型显示面板，方便使用者浏览资料。传统上，触控面板所使用的触控技术，依其作动原理的不同，虽可 分为光学式、超音波式、红外线式、电容式及电阻式等数种，惟，目前 仍以电阻式(Film on Glass)的触控技术，最被广泛应用于各式终端产品 上，参阅图l所示乃传统电阻式触控面板，该种触控面板采用电压侦测方 式感应，包括一披覆有氧化铟锡(ITO)导电层101的透明导电玻璃(ITO Glass)lO及 一 由氧化铟锡(ITO)材料201制成的透明导电薄膜(ITO Film)20,其中该透明导电玻璃10及透明导电薄膜20上，利用网版印刷技 术，将导电银胶(silver paste)分别印刷至各该透明导电玻璃1 O及透明导电 薄膜20上邻近其边缘的位置，以形成所需的线路11及21,嗣，再于各该 线路11及21上依序形成一绝缘层12、 22及一接着层13、 23,并在该透明 导电玻璃IO及透明导电薄膜20间置入复数个间隔排列的间隔点(dot spacer)30，及在各该线路11及21上置入软性排线111及2H后，即可藉各 该接着层13、 23,将该透明导电玻璃10及透明导电薄膜20封合成一体， 制作出所需的触控面板。当使用者以手指、笔或其它介质直接碰触该透明导电薄膜20上的某3一位置时，该位置的透明导电薄膜20将与该透明导电玻璃10形成电气上的导通，并在对应位置产生电位差，电路板的控制电路即根据由该等软性排线111及211自该等线路11及21所感测到的不同电位差，进一步计算 出碰触位置所在的坐标值，并在该触控面板的对应坐标位置上显示光标。一般言，传统的电阻式触控面板根据其线路的不同配线方式，又可 分为四线(4Wire)、五线或六线等不同的配线型式，兹以五线式触控面板 为例，参阅图2所示，其触控面板在X及Y轴方向的四条线路，均布设在 玻璃基板的透明导电层上邻近其周边，而其透明导电薄膜上则仅布设一 条线路，用来检测(sampIing)X及Y轴的电压值，共计5条线路。当使用者 以手指或笔触碰该触控面板上P点位置时，控制电路将对该玻璃基板的透 明导电层上的两条线路1及2供应5伏特的电源，并令另二条线路4及5处于 接地状态(ground，即电压等于零)，此时，触碰位置因阻抗发生变化，将 产生压降，令该透明导电薄膜上的线路可取样到Vpy的电压值，反之， 当控制电路对该玻璃基板的透明导电层上的两条线路2及4供应5伏特的 电源，并令另二条线路l及5处于接地状态(ground,即电压等于零)时，该 透明导电薄膜上的线路将取样到Vpx的电压值，该等Vpx及Vpy的电压值 经由控制电路的计算比对后，即可迅速得知该P点所在的坐标位置。目前制作透明导电玻璃的方法仍以传统的黄光微影蚀刻技术为主 流，如图3所示，其制作流程是于一透明玻璃14上賊镀一层透明导电层15, 再铺设一光阻层91于该透明导电层15上，其次将一绘制有图案921的光罩 92设置于该光阻层91上方，经由紫外线照射，未被图案921遮蔽的光阻层 91发生化学变化，利用显影液将产生化学变化的光阻层91清洗去除，而 使部分不设置图案921的透明导电层15棵露在外，也使得光罩92上的图案 921转移到该光阻层91上，再蚀刻棵露的透明导电层15，最后将该光阻层 91完全清除，即形成具有图案化的透明导电玻璃IO。上述黄光微影制法不仅所需的设备昂贵，所用的光阻层91的成分及 显影液均为对人体有害的化学溶液，不但对现场之4乘作人员的健康造成 严重的影响，也对环境生态造成严重的污染。以显影液清除产生化学变 化之光阻层91时，如浸泡清洗时间过长，会使转印于该光阻层91上的图案921脱离或分解，降低生产良率。
技术实现思路
有鉴于此，本技术所解决的技术问题在于提供一种透明基板尤 其可应用于触控面板中的图案化透明导电薄膜。为达上揭目的，本技术的透明基板设置有图案化透明导电薄膜， 该透明导电薄膜藉由一可重复使用的屏蔽上形成有镂空的图案区，并将 该屏蔽设置于透明基板上并进行溅镀或蒸镀，将导电材均匀附着堆积在 一透明基板上，而形成所需的图案化透明导电薄膜。本技术的有益效果为，不仅制程筒便且本技术制程中完全 不需要利用液体处理，而为干式制程，可改良习有利用黄光制程会产生 废液严重污染环境的缺失。附图说明图l为习用触控面板的结构分解图2为习用触控面板结构中导电玻璃及透明导电薄膜的平面示意图； 图3为习有黄光制程的流程示意图； 图4为本技术中透明导电板的结构立体图； 图5为本技术中透明基板与屏蔽的结构示意图； 图6为本技术中触控面板的结构分解图。图号说明透明导电玻璃10 线路11 绝缘层12 透明玻璃14 透明导电薄膜20 线路21 绝缘层22 间隔点30氧化铟锡导电层101 软性排线111 接着层13 透明导电层15 氧化铟锡材纟+201 软性排线211 接着层23 透明基板40透明导电薄膜42图案区51第一透明基板61第一线^各63第一接着层65第二透明导电板70第二线路73第二接着层75光阻层91屏蔽50第一透明导电^反60第一透明导电薄膜62第一绝缘层64硬化涂层66第二透明导电薄膜72第二绝缘层74隔球80 光罩92图案9具体实施方式本技术的特点，可参阅本案图式及实施例的详细说明而获得清 楚地了解。本技术透明基板的图案化透明导电薄膜及触控面板，如图4所 示，该透明基板40上设置有图案化透明导电薄膜42，该透明基板40可以 为玻璃基板、PET、 PC、 PIC或压克力材质，而该透明导电薄膜42利用一 可重复使用的屏蔽50溅镀或蒸镀构成，请同时参阅图5所示其以溅镀为 例，该屏蔽50可以为金属材质设有一不锈钢片，并藉由机械加工方式(例 如雷射成型)，于该屏蔽50上形成有镂空图案区51,将该屏蔽50设置于透 明基板40上方，藉由溅镀可将导电材，可以为铟锡氧化物(ITO)或透明导 电氧化物(TCO)，均匀附着堆积于该透明基板40表面而形成图案化透明导 电薄膜42。而本技术的透明基板应用于触控面板中，如图6所示，该触控面 板结构至少包括有'. 一第一透明导电板60、 一第二透明导电板70,以及 若干间隔球80;其中该第一透明导电板60,其设有一第一透明基板61,该第一透明基板 61可以为玻璃基板、PET、 PC或压克力等材质，该第一透明基板61上并 设置有图案化第 一透明导电薄膜62 ，而该第 一透明导电薄膜62利用 一可重复使用的屏蔽溅镀或蒸镀构成，而该第 一透明基板61及第 一透明导电薄膜62表面并设有(亦可藉由 一屏蔽溅镀或蒸镀构成)第 一线路63,该第本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种透明基板的图案化透明导电薄膜，其特征在于，该透明基板上设置有利用一可重复使用的屏蔽溅镀或蒸镀构成的图案化透明导电薄膜。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：柯建信，
申请(专利权)人：柯涵钰，
类型：实用新型
国别省市：71[中国|台湾]