【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】利用混合惰性成份制冷剂的制冷循环4支术领域这<分7>开一類:地涉及制冷循环和在其中 <吏用的制冷剂。技术背景低温和深冷制冷通常用来冷却用于深冷分离的流体流， <吏气 体液化，为生物冷冻枳4是供冷却，控制化学工序的反应速率，为 材料性质分析设备提供冷却，捕获水蒸气用以在真空加工工序中 产生低蒸汽压，在诸如半导体晶片加工之类的制造工序中冷却制 品，冷却成^f象装置、亚原子粒子和光子纟笨测器，冷却化学分析设 备和冷却超导电缆和器件。传统的系统使用全氯氟烃、含氯氟烃、 含氟烃、全氟烃和烃类的制冷剂。然而，这些制冷剂有一些击夬点。传统的制冷剂是活性的而且可能分解成腐蚀性基团。诸如全 氯氟烃和全氟烃之类传统的制冷剂可能分解成腐蚀性的氯基团 和氟基团。诸如烃之类的制冷剂可能在加工条件下和在有点火源 存在的情况下是易燃的。这些制冷剂在工序的每丈感部分的泄漏的 可能造成重大的、代价高昂的损害。举例来说，在半导体加工工 序中，出现痕量的传统的全氯氟烃和全氟烃制冷剂可能导致出现 增多的自由基，这将会影响半导体电路和相关设备的生产。传统 制冷剂较大规模的泄漏可能导致...
【技术保护点】
一种冷却系统，其中包括： 具有第一制冷剂的第一非震荡式制冷循环；以及 第二非震荡式制冷循环，其具有包括深冷气体成份混合物的第二制冷剂，其中第二制冷剂不含全氯氟烃、含氯氟烃、全氟烃、含氟烃和烃。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：凯文P弗林，米克汉尔博阿斯基，奥利波德特切尔尼夫，
申请(专利权)人：布鲁克斯自动化有限公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]
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