用于Ⅲ型气体抽吸的高传导率低温泵制造技术

提供对Ⅲ型气体具有较高抽吸速度的一种低温泵。打开配置的前面阵列提供了气体进入辐射屏蔽的较高传导率，该辐射屏蔽被形成以朝向第二阶段阵列集中气体。第二阶段阵列具有打开配置的涂有吸附剂的隔板。实质上全部的吸附剂具有到辐射屏蔽或者到辐射屏蔽中的开口的直接的视线，实质上全部的隔板被涂有吸附剂。在一种形式中，第二阶段低温泵阵列包括展成扇形的圆盘阵列以限定通常成球形的外壳。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】
一种低温泵，其包括：具有第一和第二阶段的制冷器；与制冷器的第二阶段热接触的第二阶段低温板，以冷凝较低温度的冷凝气体；围绕第二阶段低温板的辐射屏蔽，该辐射屏蔽与制冷器的第一阶段进行热接触；以及穿过辐射屏蔽中的开口的前面低温板，该前面低温板作为低温抽吸表面用于较高冷凝温度气体；该低温泵具有至少２０％对氢气的捕获能力，以及第二阶段低温板包括装载吸附剂的隔板阵列，至少大约８０％的吸附剂具有到辐射屏蔽或者到辐射屏蔽中的开口的直接的视线。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：阿伦J巴特莱特，约翰诺德博格，布赖恩汤普森，
申请(专利权)人：布鲁克斯自动化有限公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]