【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种框架的快拆结构，特别指 一种应用于真空溅镀腔体 内，传输用框架的快拆式组装结构。
技术介绍
真空溅镀技术是真空薄膜制程中应用层面相当广泛的 一项重要技术，近年 来己逐渐取代喷导电漆或电解电镀等方式，大量应用在光电、通信及半导体等 产业，成为相当重要的表面处理技术。请参阅图l所示， 一般真空溅镀技术，利用磁控溅镀阴极板l 1，将离子化的气体分子1 3以高速轰击激发镀材1 8 ，使镀膜分子1 2均匀散布在真空 腔体l 0内各个角落，再通过电位差高速溅射在被镀物1 9表面上，进而达到 镀膜的目的。而因应真空'践镀制程应用层面日广，为增加相关镀膜产品的产业竟争力， 目前大部分溅镀i殳备为连续式多腔体型式，以取代传统批次式或晶圆式生产方式。如图2所示，连续式传输作业流程如可概分为进料区、溅镀区及出料区三个区域。每一个区域都至少由一真空腔体1 0组成，再利用传输机构将被镀物 1 9输送至不同区域的真空腔体1 0内进行各项程序作业。而一般连续式真空溅镀设备其自动化传输机构皆利用极限开关及摩擦原理来完成不同腔体之间传输顺序。请再参阅图3，每个腔体分别具有一部伺服...
【技术保护点】
一种快拆式内传输框架结构，包含用于真空溅镀的框架，其特征在于： 所述框架由若干副框架组成，各副框架相组接的外端各设有一对接板，各对接板上形成有定位部，所述副框架通过相对接的定位部结合为一体。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：黎瑞海，
申请(专利权)人：凌嘉科技股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：71[中国|台湾]
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。