【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种避振控制系统，其对配置有致动器的装置随着 上述致动器的动作而产生的振动进行抑制，该致动器基于控制指令使 物体向规定方向移动。
技术介绍
当今，通过控制器控制动作从而使工件或产品等物体向规定方 向移动的致动器被用在各种装置，例如半导体制造装置、各种工作机 械、以及输送装置等中。具有这样的致动器(以下称为"激振侧致动 器")的装置，由于该激振侧致动器动作时产生的反作用力变成激振 力，所以不可避免地产生振动。特别是具有通过将旋转型电动机与滚 珠丝杠组合获得推力这种类型的激振侧致动器、或者通过线性电动机 获得推力这种类型的激振侧致动器等的装置，在使物体移动过程中的 加速或减速时产生较大的激振力。例如一边通过上述激振侧致动器使刀具移动一边对工件进行加 工的工作机械、或者一边通过上述激振侧致动器使工件移动一边加工 该工件的工作机械等，如果在加工时产生较大的激振力，则工作机械 发生振动，其结果，激振侧致动器以及工件也振动，因此使加工精度 下降。为了在工件上实施高形状精度或高位置精度的加工，希望尽可 能抑制装置(工作机械)随着激振侧致动器的动作而产生的振动。另...
【技术保护点】
一种避振控制系统，其安装在配置有激振侧致动器的装置上，该激振侧致动器具有可向１个轴向移动的激振侧可动件，该避振控制系统用于在将物体载置于所述激振侧可动件上，使该激振侧可动件移动时，抑制所述装置上产生的振动， 其特征在于，具有： 存储部，其存储所述激振侧致动器的模型运算参数，同时，存储由所述激振侧可动件的质量和所述物体的质量组合而成的激振侧可动质量的数据； 运算部，其至少使用所述模型运算参数和所述激振侧可动质量的数据，计算与使所述激振侧可动质量移动时的加减速推 力相关的参数； 避振侧致动器，其具有固定在所述装置上的避振侧驱动部、和由该避振侧驱...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：寺田启，长野铁明，前川清石，早坂惠美子，
申请(专利权)人：三菱电机株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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