300mm立式氧化炉炉体制造技术

本实用新型专利技术公开了一种３００ｍｍ立式氧化炉炉体，设有主体、顶盖、基座，主体为一直立圆筒形，由内到外依次设有炉丝、炉丝支撑件、保温棉层、内壁、冷却管、外壁，炉丝由炉丝支撑件支撑固定，保温棉层设置在内壁内侧，在内壁和外壁之间设置冷却管；设有多个热电偶、炉丝引线穿过保温层、内壁、外壁，横向固定在内壁上；在主体上口沿设有环形顶块，顶块中间设有顶盖，下口设有底块，顶盖、顶块、保温棉、底块组成保温层，保温层固定在内壁上；冷却管和外壁也固定在内壁上；内壁固定在基座上，基座上设有冷却密封槽和进出水口。本实用新型专利技术适用于３００ｍｍ硅片进行氧化、退火等工艺，温度控制精确，具有高质量、高寿命、高效率的特点。（*该技术在2018年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术属于一种用于300mm硅片热处理的立式氧化炉，具体是一 种300mm立式氧化炉的炉体。
技术介绍
氧化炉是用于硅片进行氧化、退火等热处理工艺的半导体设备，现用的 氧化炉，大都是卧式结构，其温度均匀性及控温精度不够理想，操作和控制 不够精确灵活，自动化程度低、生产效率和产品质量不够高，不能适应300mm 硅片的生产需求。因此，需要提出一种结构改进的300mm立式氧化炉炉体。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决上述技术问题，提出一种300mm立式氧 化炉炉体，该氧化炉炉体结构新颖、完善，温度控制灵活、精确，生产效率 和产品质量大大提高。本技术的目的是通过以下技术方案来实现的300mm立式氧化炉 炉体，设有主体、顶盖、基座，其特征在于所述主体为一直立圆筒形，由 内到外依次设有炉丝、炉丝支撑件、保温棉层、内壁、冷却管、外壁，所述 炉丝在主体内由上到下多圈环绕，由炉丝支撑件支撑固定，保温棉层设置在 内壁内侧，在内壁和外壁之间设置上下迂廻弯曲的冷却管；冷却管设有冷却 水进出水口；设有多个热电偶、炉丝引线穿过保温层、内壁、外壁，横向固 定在内壁上，热电偶里端到达测温位置，炉丝引线里端焊接在炉丝本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种３００ｍｍ立式氧化炉炉体，设有主体、顶盖、基座，其特征在于：所述主体为一直立圆筒形，由内到外依次设有炉丝（８）、炉丝支撑件（７）、保温棉层（６）、内壁（３）、冷却管（４）、外壁（５），所述炉丝在主体内由上到下多圈环绕，由炉丝支撑件支撑固定，保温棉层设置在内壁内侧，在内壁和外壁之间设置上下迂廻弯曲的冷却管；冷却管设有冷却水进出水口（１５）；设有多个热电偶（１１）、炉丝引线（１２）穿过保温层、内壁、外壁，横向固定在内壁上，热电偶里端到达测温位置，炉丝引线里端焊接在炉丝上；在主体上口沿设有环形顶块（２），该顶块中间设有顶盖（１），在主体的下口设有环形底块（９），所述顶盖、顶块、保温棉、底块组成保...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：钟华，盛金龙，程朝阳，胡星强，艾伦埃马米，
申请(专利权)人：北京七星华创电子股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：11[中国|北京]