下载300mm立式氧化炉炉体的技术资料

文档序号:5476726

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本实用新型公开了一种300mm立式氧化炉炉体,设有主体、顶盖、基座,主体为一直立圆筒形,由内到外依次设有炉丝、炉丝支撑件、保温棉层、内壁、冷却管、外壁,炉丝由炉丝支撑件支撑固定,保温棉层设置在内壁内侧,在内壁和外壁之间设置冷却管;设有多个热...
该专利属于北京七星华创电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京七星华创电子股份有限公司授权不得商用。

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