借助高频激励来产生等离子的方法和发生器电路技术

为了提供保持等离子的电压，根据本方法，把具有确定的工作频率的高频电压与至少另一高频电压锁相叠加，所述另一高频电压分别具有该工作频率的倍频以及可调的幅度和相位。为一个相应的发生器电路设置至少两个高频功率发生器（１至４），其中一个高频功率发生器（１）在确定的工作频率（ｆ）下工作，另一个或其它高频功率发生器（２－４）在该工作频率的倍频（ｆ）下工作。所有的高频功率发生器（１－４）相互锁相耦合，每个高频功率发生器（１－４）的相对相位以及相应幅度都可借助一个自己的匹配电路（５－８）来单独调节。或者，可以设置在确定的工作频率（ｆ）工作的振荡器和至少另一个接在该振荡器后面的倍频器，该倍频器产生该工作频率（ｆ）的谐波。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】借助高频激励来产生等离子的方法和发生器电路本专利技术涉及借助高频激励来产生等离子的方法和发生器电路。等离子体应用于许多沉积处理、蚀刻处理和镀膜处理中(比如HF溅射、PECVD)。 借助直流电压、微波或通过高频来激励等离子是已知的。本专利技术涉及借助高频来进行激励， 其尤其适于溅射过程。在基于高频激励的等离子发生器中，功率发生器通过匹配网络连接到真空室中 的等离子电极，以实施低压等离子处理。在功率为300W至50kW情况下，具有频率f = 13. 56MHz的发生器是典型的。该匹配网络针对该发生器的工作频率被如此调节，使该发生 器以其标称阻抗被驱动。或许还采用第二等离子发生器，第二等离子发生器通过围绕该真空室的感应线圈 将高频附加输入该室中，从而把能量输入到等离子室中。等离子阻抗的非线性导致出现具有发生器倍频的谐波，该谐波从电极回流到该匹 配网络中。谐波到达的反射系数是不定的并且不受控制。这样，在该等离子电极上产生电 压曲线形状，该曲线形状与该发生器的工作频率是等周期的，但它在电压周期内具有不受 控制的变化过程。结果，过程缺乏可重复性，在服务、修理或更换高频部件之后出现神秘的 过程变化。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种借助高频激励来产生等离子的方法，其特征在于，为了提供保持等离子的电压，把具有确定的工作频率的高频电压与至少另一高频电压锁相叠加，其中所述另一高频电压分别具有该工作频率的相应倍频以及可调的幅度和相位。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：R格施，
申请(专利权)人：奥宏设备技术有限公司，
类型：发明
国别省市：DE[德国]