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为了提供保持等离子的电压，根据本方法，把具有确定的工作频率的高频电压与至少另一高频电压锁相叠加，所述另一高频电压分别具有该工作频率的倍频以及可调的幅度和相位。为一个相应的发生器电路设置至少两个高频功率发生器（１至４），其中一个高频功率发生器...
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