使用压电体膜的振动陀螺仪及其制造方法技术

本发明专利技术的振动陀螺仪具有：具有均匀的平面的环状振动体（１１），灵活地支撑环状振动体（１１）并具有固定端的支架部（１５），形成在平面上，并利用上层金属膜及下层金属膜在厚度方向上夹持压电体膜的多个电极（１３ａ～１３ｄ），及固定电位电极（１６）；在Ｎ为２以上的自然数时，多个电极（１３ａ～１３ｄ）具有：驱动电极（１３ａ），配置于彼此在圆周方向上隔开（３６０／Ｎ）°的角度处，用于在ｃｏｓＮθ的振动模式下激发该环状振动体（１１）的一次振动，第１监测电极（１３ｂ），配置于从驱动电极（１３ａ）起向顺时针方向或逆时针方向隔开（９０／Ｎ）°的角度处，用于检测对该环状振动体（１１）施加角速度时所产生的二次振动，第２监测电极（１３ｄ），配置于从第１检测电极（１３ｂ）起隔开（１８０／Ｎ）°的角度处，用于检测二次振动；各电极（１３ａ）配置在从其振动体（１１）的外周缘至其外周缘附近为止的区域及／或从内周缘至其内周缘附近为止的区域。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种使用压电体膜的振动陀螺仪。
技术介绍
近年来，使用压电材料的振动陀螺仪被积极开发。一直以来，如专利文献1中记 载的振动体自身由压电材料而构成的陀螺仪被开发，另一方面也有利用形成于振动体上的 压电体膜的陀螺仪。例如，在专利文献2中公开了以下技术，即使用作为压电材料的PZT 膜，激发振动体的一次振动，并且检测由于在其振动体上被赋予角速度时所产生的科氏力 (Coriolis force)而产生的陀螺仪的一部分的歪斜。另一面，搭载陀螺仪的各种机器的尺寸也正在日新月异地小型化，因此陀螺仪自 身的小型化也成为了重要的课题。为了达成陀螺仪的小型化，有必要大幅度地提高构成陀 螺仪的各构件的加工精度。另外，不是单纯地只进行小型化，可以说提高陀螺仪的性能，换 言之，进一步提高角速度的检测精度是产业界的要求。但是，专利文献2中示出的陀螺仪结 构，无法满足这几年来的小型化及高性能化的要求。专利文献1 特开平8-271258号公报专利文献2 特开2000-9473号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的课题如上所述，在达成使用压电体膜的振动陀螺仪的小型化和高加工精度的同时，满 足陀螺仪的高性本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种振动陀螺仪，具有：环状振动体，具有均匀的平面，支架部，灵活地支撑所述环状振动体，并具有固定端，多个电极及固定电位电极，该多个电极形成在所述平面上，并利用上层金属膜及下层金属膜在厚度方向上夹持压电体膜；在Ｎ为２以上的自然数时，所述多个电极具有：一组驱动电极，配置于彼此在圆周方向上隔开（３６０／Ｎ）°的角度处，用于在ｃｏｓＮθ的振动模式下激发所述环状振动体的一次振动，一组第１检测电极，配置于从各所述驱动电极起向顺时针方向或逆时针方向隔开（９０／Ｎ）°的角度处，用于检测对所述环状振动体施加角速度时所产生的二次振动，一组第２检测电极，配置于从各所述第１检测电极起隔开（１８０／Ｎ）°的角度处，用于检...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：池田隆志，西田宏，寅屋敷治，竹村充彦，藤村刚，荒木隆太，森口孝文，手嶋伸贵，平田泰之，
申请(专利权)人：住友精密工业株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]