多层的硅微机械零件的制造方法和由此方法获得的零件技术

本方法包括以下步骤：ａ）在第一硅片（１）中加工出第一元件（３）或多个所述第一元件（３）并通过材料桥（５）保持所述元件（３）连接在一起；ｂ）用第二硅片（２）重复步骤ａ）以便加工出与第一元件（３）的形状不同的第二元件（４），或者加工出多个所述第二元件（４）；ｃ）借助定位装置（６、７）将第一和第二元件（３、４）或第一和第二硅片（１、２）面对面叠放；ｄ）对形成于步骤ｃ）的组合件进行氧化；以及ｅ）从硅片（１、２）分离出零件（１０）。通过本方法获得了钟表微机械零件。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】
一种用单晶硅或多晶硅制造具有至少两层的微机械零件（１０、２０、３０）的方法，包括以下步骤：　ａ）采用化学方法、物理方法或两法兼用，在第一硅片（１）中加工出所述零件的第一元件（３）或加工出多个所述第一元件（３）；　ｂ）用第二硅片（ ２）重复步骤ａ）以便加工出与第一元件的形状不同的第二元件（４），或者加工出多个所述第二元件（４）；　ｃ）借助定位装置（６、７）将第一和第二元件（３、４）或第一和第二硅片（１、２）面对面叠放；　ｄ）进行氧化以便将形成于步骤ｃ）的组 合件连接在一起；以及　ｅ）从硅片（１、２）分离出零件（１０）。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：P马迈，JL赫尔弗，T科努斯，
申请(专利权)人：伊塔瑞士钟表制造股份有限公司，
类型：发明
国别省市：CH[瑞士]