下载多层的硅微机械零件的制造方法和由此方法获得的零件的技术资料

文档序号:5473975

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本方法包括以下步骤:a)在第一硅片(1)中加工出第一元件(3)或多个所述第一元件(3)并通过材料桥(5)保持所述元件(3)连接在一起;b)用第二硅片(2)重复步骤a)以便加工出与第一元件(3)的形状不同的第二元件(4),或者加工出多个所述第...
该专利属于伊塔瑞士钟表制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过伊塔瑞士钟表制造股份有限公司授权不得商用。

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