【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及在照射激光来实施加工时所使用的保护膜以及使用该保护膜的加工 方法。
技术介绍
激光加工由于加工速度快、能够实现干法工艺而得以广泛应用，特别是在各种微 细加工领域中就经常使用紫外线激光。但是，激光加工产生了新的问题由于激光加工点在 瞬间达到超高温状态，所以发生烧蚀，气化后的材料凝结并附着在加工物的表面上。为了解决由上述凝结附着物(碎屑)所引起的问题，专利文献1至3中公开了这 样的加工方法，即，在晶片的加工面上形成由水溶性树脂形成的保护膜，并隔着保护膜照射 激光。例如，在专利文献1和专利文献2中，记载了使用水溶性保护膜来对加工物表面提 供保护的方法。根据这些文献，即使因为激光照射而产生了凝结物(碎屑)，所产生的凝结 物也会附着在保护膜的表面上，在用水清洗保护膜的同时被清洗掉，从而可防止其附着在 加工物上。此外，专利文献3提出了一种由溶解有水溶性树脂和激光吸收剂的溶液形成的保 护膜。专利文献1 日本专利特开昭53-8634号公报专利文献2 日本专利特开平5-211381号公报专利文献3 日本专利特开2006-140311号公报专利技术的揭示然而，上述专利...
【技术保护点】
一种激光加工用保护膜，其特征在于，含有（甲基）丙烯酸酯共聚物以及具有不饱和键的辐射聚合性（甲基）丙烯酸酯，呈膜状。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：武末博则，田口广一，
申请(专利权)人：电气化学工业株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。