【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术是关于用来控制气体或液体等流体流量的质量流量控制器。
技术介绍
以往已知有例如对半导体制造装置供给使用于半导体制造的各种气体等时，可分别将 质量流量控制器设置于这些供应流路，由此分别调节其气体流量。而以往一般都分别使压 力调节器串联附设于各质量流量控制器，以使各质量流量控制器的流路内压力不发生极端的变动，而使流量控制变得更为容易。在该质量流量控制器的流量控制方式中，基本上使用PID控制，而还知道例如专利文 献1所示，进行对PID控制施以变形的反馈控制。具体而言如该专利文献1所示，对偏差 施以PID运算，再将其运算结果乘上流量设定值越小则其值越大的一个函数，以计算出反 馈控制值。而近年来增加了许多仅在耐高压容器等流体供给源中设置调节器，在自此分支的各供 应流路分别设置质量流量控制器，但不各别设置调节器的系统构成。然而，使用如此的系统构成时，例如若某一供应流路突然关闭或某一质量流量控制器 的流量大幅变化，则因此所造成的压力变动会波及其它供应流路及质量流量控制器(此称 为串扰)，若如以往般采用通过压力调节器将压力变动作一定程度的抑制为前提的控制方 式，可能会...
【技术保护点】
一种质量流量控制器，包含： 流量传感部，用来测定在流路内流动的流体流量，并将表示此测定值的流量测定信号输出； 流量控制阀，设置在此流量传感部的上游侧或下游侧； 控制部，由规定的算式计算流量控制阀的开度控制信号并加以输出，所 述算式至少包含有所述流量测定信号所表示的流量测定值与目标值即流量设定值，来作为其参数；及 压力传感部，检测所述流量传感部的上游侧或下游侧的所述流体的压力，并输出表示此压力值的压力检测信号； 且所述控制部使所述算式在下列两段期间内 互不相同：自所述流量设定值发生超过规定量以上的变化的时间点开始的规定期...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】JP 2006-10-3 272315/20061.一种质量流量控制器，包含流量传感部，用来测定在流路内流动的流体流量，并将表示此测定值的流量测定信号输出；流量控制阀，设置在此流量传感部的上游侧或下游侧；控制部，由规定的算式计算流量控制阀的开度控制信号并加以输出，所述算式至少包含有所述流量测定信号所表示的流量测定值与目标值即流量设定值，来作为其参数；及压力传感部，检测所述流量传感部的上游侧或下游侧的所述流体的压力，并输出表示此压力值的压力检测信号；且所述控制部使所述算式在下列两段期间内互不相同自所述流量设定值发生超过规定量以上的变化的时间点开始的规定期间即变化期间，与除此以外的期间即稳定期间；又至少在所述稳定期间，所述算式的参数还包含有所述压力值。2. 如权利要求1所述的质量流量控制器，其特征在于，所述算式由下列算式(a)所表 示<formula>formula see original document page 2</formula>其中<formula>formula see original document page 2</formula>又，V是反馈控制值，根据此数值设定所述开度控制信号；P、 I、 D、 Y是分别适当决 定的系数；S是所述流量设定值，OUT是所述流量测定值；Ap是由所述压力传感部所检测 的压力值的时间微分值或以包含时间微分值的算式所表示的数值。3. 如权利要求1所述的质量流量控制器，其特征在于，所述算式由下列算式(b)所表 示<formula>formula see original document page 2</formula>其中<formula>formula see original document page 2</formula>又，V是反馈控制值，根据此数值设定所述开度控制信号；P、 I、 D、 Y是分别适当决 定的系数；S是所述流量设定值，OUT是所述流量...
【专利技术属性】
技术研发人员：米田丰，高桥明人，
申请(专利权)人：株式会社堀场STEC，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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