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本发明提供一种质量流量控制器，该质量流量控制器在不牺牲相对于流量设定值变化的跟踪速度的前提下，即使发生压力变动也可抑制流量变动，而可采用可能发生串扰等扰动的系统。本发明的质量流量控制器包含：控制部（５），由规定算式计算流量控制阀的开度控制信...
该专利属于株式会社堀场STEC所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社堀场STEC授权不得商用。

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