驱动控制方法、驱动控制装置、载台控制方法、载台控制装置、曝光方法、曝光装置以及计测装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种驱动控制方法、驱动控制装置、载台控制方法、载台控制装置、曝光方法、曝光装置及计测装置。其中，控制至少能在第１方向及与该第１方向不同的第２方向上移动的物体，并根据驱动信号以及扰动修正信号来控制施加于该物体的力，上述驱动信号，驱动用于使该物体在该第１方向上移动的第１致动器，上述扰动修正信号是根据在前述物体输出端在该第２方向的扰动信号而生成的。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及驱动控制方法、驱动控制装置、载台控制方法、载台控制装置、曝光方 法、曝光装置及计测装置。本申请案主张2007年9月7日申请的日本特愿2007-233325号的优先权，将其内容援用于此。
技术介绍
以往，例如在制造液晶显示器(统称为平面显示器flat paneldisplay)的工序 中，为了在基板(玻璃基板)上形成晶体管或二极管等元件，大量使用曝光装置。此曝光装 置是将涂布有抗蚀剂的基板装载于载台装置的保持件上，通过投影透镜等光学系统将描绘 于掩模的微细电路图案转印至基板的装置。近年来，多使用例如步进扫描(step-and-scan) 方式的曝光装置(请参照例如日本特开2000-077313号公报)。步进式扫描方式的曝光装置，是在将狭缝状的曝光用光照射于掩模的状态下，一 边相对于投影光学系统使掩模与基板彼此同步移动、一边将形成在掩模上的图案的一部分 逐次转印至基板的照射区域，每结束对一个照射区域的图案转印后就使基板步进移动以进 行对其他照射区域的图案转印的曝光装置。在对设定于基板表面的多个区划区域(照射区域)的各个进行曝光处理的情况 下，须一边使基板与掩模间的位置关系同步一边以配合待曝光能量的速度而基本定速移 动。因此，所采用的顺序是使搭载基板的基板载台与装载掩模的掩模载台加速，在该加速中 取得载台间的同步，之后，在基板上的作为曝光对象的照射区域接近曝光区域(曝光位置) 的时间点，对曝光区域照射曝光用光来进行曝光。对曝光区域照射曝光用光时，为了保持基于例如投影光学系统的正对焦(just focus)状态(投影光学系统PL的成像点与基板曝光区域的Z方向位置一致)，设有例如以 传感器等测定前述投影光学系统所包含的透镜与基板之间的距离，通过反馈控制进行自动 对焦的机构(焦点位置检测系统等)。
技术实现思路
近年来，曝光区域逐渐大面积化，载台本身也日趋大型化。然而，在使大型载台加 速时载台易产生振动，加速后的载台在达到一定速度之后即刻也会有振动残留的情形。因 此，有自动对焦不够充分、难以维持正对焦状态的危险。上述载台的振动问题并不只是曝光 装置，在具有载台等可移动物体的其它装置等中也有相同问题。本专利技术的目的，在提供一种能确实地抑制欲驱动物体的振动的驱动控制方法、驱 动控制装置、载台控制方法、载台控制装置、曝光方法、曝光装置及计测装置。本专利技术的若干实施方式，采用与展示实施方式的各图对应的以下结构。但对各要 素附加的具括号的符号仅为该要素的例示，而不是用于限定各要素的。本专利技术第1实施方式的驱动控制方法，控制至少能在第1方向和与该第1方向不 同的第2方向上移动的物体(PST)，其特征在于根据驱动信号和扰动修正信号(27)来控 制施加于所述物体的力，其中所述驱动信号用以驱动使该物体在所述第1方向上移动的第 1致动器(16)，所述扰动修正信号是根据所述物体的输出端的所述第2方向的扰动信号而 生成的。根据第1实施方式，除了驱动用于使物体(PST)在第1方向上移动的第1致动器 (16)的驱动信号外，还根据基于物体的第2方向的扰动而生成的扰动修正信号(27)来控制 施加于物体的力，因此能防止在使物体在第1方向上加速后所产生的在输出端的扰动的不 良影响。本专利技术第2实施方式的驱动控制装置，控制至少能在第1方向和与该第1方向不 同的第2方向上移动的物体(PST)，其具备信号生成装置(11)，生成驱动用于使所述物体 在所述第1方向上移动的第1致动器(16)的驱动信号，并根据所述物体的所述第2方向的 扰动生成扰动修正信号(27)；以及控制装置(11a)，根据所述驱动信号及所述扰动修正信 号控制施加于所述物体的力。根据第2实施方式，除了驱动用以使物体(PST)在第1方向上移动的第1致动器 (16)的驱动信号外，也根据基于物体的第2方向的扰动所生成的扰动修正信号(27)控制施 加于物体的力，因此能防止在使物体在第1方向加速后所产生的在输出端的扰动的不良影 响。本专利技术第3实施方式的载台控制方法，控制至少能在第1方向和与该第1方向不 同的第2方向上移动的载台(PST)，其特征在于根据驱动信号和扰动修正信号(27)来控 制施加于所述载台的力，其中，所述驱动信号驱动用于使所述载台在该第1方向上移动的 第1致动器(16)，所述扰动修正信号是根据与所述载台的所述第2方向的振动相关的传递 函数而生成的。根据第3实施方式，由于除了驱动用于使载台(PST)在第1方向上移动的第1致 动器(16)的驱动信号外，还根据基于与载台的第2方向的振动相关的传递函数而生成的扰 动修正信号(27)，控制施加于载台的力，因此能防止在使载台在第1方向上加速后所产生 的载台振动造成的不良影响。施加于前述载台的力，可以是因例如驱动用以使前述载台在前述第2方向上移动 的第2致动器而得到的。本专利技术第4实施方式的一种载台控制装置，控制至少能在第1方向和与该第1方 向不同的第2方向上移动的载台(PST)，其特征在于，具备信号生成装置(11)，生成驱动用 于使所述载台在所述第1方向上移动的第1致动器的驱动信号，并根据与所述载台的所述 第2方向的振动相关的传递函数生成扰动修正信号；以及控制装置(11a)，根据所述驱动信 号及所述扰动修正信号控制施加于所述载台的力。根据第4实施方式，由于除了驱动用于使载台(PST)在第1方向上移动的第1致 动器(16)的驱动信号外，还根据基于载台的第2方向的振动相关的传递函数而生成的扰动 修正信号(27)，控制施加于载台的力，因此能防止在使载台在第1方向上加速后所产生的 载台振动造成的不良影响。前述施加于载台的力，也可以是根据前述扰动修正信号，驱动用于使前述载台在6前述第2方向上移动的第2致动器而得到的。本专利技术第5实施方式的曝光方法，使用保持基板(P)的载台(PST)进行曝光，其根 据上述驱动控制方法或载台控制方法，驱动前述载台。根据第5实施方式，由于使用能防止在使载台(PST)在第1方向上加速后所产生 的载台振动造成的不良影响的载台控制方法来驱动载台，因此能防止曝光精度降低。本专利技术第6实施方式的曝光装置(10)，使用保持基板(P)的载台(PST)进行曝光， 其具备上述驱动控制装置(11)或载台控制装置(11)。根据第6实施方式，由于使用能防止在使载台(PST)在第1方向上加速后所产生 的载台振动造成的不良影响的载台控制装置或载台控制装置(11)来驱动载台，因此能防 止曝光精度降低。本专利技术第7实施方式的计测装置，具备装载被检测物的载台、与上述载台控制装置根据第7实施方式，由于使用能防止在使载台在第1方向上加速后所产生的载台 振动造成的不良影响的载台控制装置来驱动载台，因此能获得高可靠性的计测结果。根据本专利技术，能防止因所驱动的物体的振动造成不良影响。附图说明图1是示出本专利技术实施方式的曝光装置的结构的概略图。图2是示出本实施方式的曝光装置的部分结构的剖面图。图3是示出本实施方式的曝光装置的部分结构的剖面图。图4是示出本实施方式的控制装置的结构的框图。图5是示出力学系统模式的图。附图标记说明PST:板片载台(物体、载台)；10:曝光装置；11:主控制装置(驱动信号生成装 置)；11a:控制装置(驱动控制装置、载台控制装置)；16:线性电机(第1本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种驱动控制方法，控制至少能在第１方向和与该第１方向不同的第２方向上移动的物体，其特征在于：根据驱动信号和扰动修正信号来控制施加于所述物体的力，其中，所述驱动信号驱动用于使所述物体在所述第１方向上移动的第１致动器，所述扰动修正信号是根据所述物体的所述第２方向的扰动而生成的。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】JP 2007-9-7 2007-233325一种驱动控制方法，控制至少能在第1方向和与该第1方向不同的第2方向上移动的物体，其特征在于根据驱动信号和扰动修正信号来控制施加于所述物体的力，其中，所述驱动信号驱动用于使所述物体在所述第1方向上移动的第1致动器，所述扰动修正信号是根据所述物体的所述第2方向的扰动而生成的。2.如权利要求1所述的驱动控制方法，其中，所述扰动包含所述物体被所述第1致动器 驱动时所产生的关于所述第2方向的位置变动成分，所述扰动修正信号能利用所述位置变 动成分的逆相位使所述物体在所述第2方向上移动。3.如权利要求1或2所述的驱动控制方法，其中，针对所述扰动修正信号进行完全追踪 控制。4.如权利要求3所述的驱动控制方法，其中，所述完全追踪控制是单一速率控制。5.如权利要求3所述的驱动控制方法，其中，所述完全追踪控制是多速率控制。6.一种驱动控制装置，控制至少能在第1方向和与该第1方向不同的第2方向上移动 的物体，其特征在于，具备信号生成装置，生成驱动用于使所述物体在所述第1方向上移动的第1致动器的驱动 信号，并根据所述物体的所述第2方向的扰动生成扰动修正信号；以及控制装置，根据所述驱动信号和所述扰动修正信号来控制施加于所述物体的力。7.如权利要求6所述的驱动控制装置，其中，所述扰动包含所述物体被所述第1致动器 驱动时所产生的关于所述第2方向的位置变动成分，所述扰动修正信号能利用所述位置变 动成分的逆相位使所述物体在所述第2方向上移动。8.如权利要求6或7所述的驱动控制装置，其中，针对所述扰动修正信号进行完全追踪 控制。9.如权利要求8所述的驱动控制装置，其中，所述完全追踪控制是单一速率控制。10.如权利要求8所述的驱动控制装置，其中，所述完全追踪控制是多速率控制。11.一种载台控制方法，控制至少能在第1方向和与该第1方向不同的第2方向上移动 的载台，其特征在于根据驱动信号和扰动修正信号来控制施加于所述载台的力，其中， 所述驱动信号驱动用于使所述载台在所述第1方向上移动的第1致动器， 所述扰动修正信号是根据与所述载台的所述第2方向的振动相关的传递函数而生成的。12.如权利要求11所述的载台控制方法，其中，所述传递函数包含所述载台被所述第1 致动器驱动时所产生的关于所述第2方向的位置变动成分，所述扰动修正信号能利用所述 位置变动成分的逆相位使所述载台在所述第2方向上移动。13.如权利要求11或12所述的载台控制方法，其中，所述传递函数是以下式表示 [式1] 其中，(^表示共振频率、ζ 5表示共振的衰减系数、ωζ表示反共振频率、(2表示反共 振的衰减系数、kf表示增益系数。14.如权利要求11至13中任一项所述的载台控制方法，其中，驱动用于使所述载台在 所述第2方向上移动的第2致动器来控制所述力。15.如权利要求14所述的载台控制方法，其中，所述第2致动器设有多个，利用所述第 2致动器来控制成所述载台对于所述第2方向成为预定的姿势。16.如权利要求11至15中任一项所述的载台控制方法，其中，所述驱动信号包含所述 载台在所述第1方向上的加速度信息，控制所述载台以使所述载台的预定的位置成为目标 位置。17.如权利要求13至16中任一项所述的载台控制方法，其中，一边修正所述扰动修正 信号中的所述共振频率、所述共振的衰减系数、所述反共振频率、所述反共振的衰减系数及 所述增益系数中的至少1个，一边控制所述载台。18.如权利要求13至17中任一项所述的载台控制方法，其中，通过一边修正所述共振 频率、所述共振的衰减系数、所述反共振频率、所述反共振的衰减系数...

【专利技术属性】
技术研发人员：藤本博志，坂田晃一，佐伯和明，大友刚，
申请(专利权)人：国立大学法人横滨国立大学，株式会社尼康，
类型：发明
国别省市：JP[日本]