蒸汽传输系统技术方案

一种传输系统（１０），用于将物质（１２）传输至处理室（１４）以便涂覆大物品表面从而将特定性质赋予其上，该系统包含：物质容器（１６），其用于容纳从液体物质源（１８）供应的物质；蒸发装置（２０），其用于蒸发所述容器中的液体物质；流动引导装置（２２，２４），其用于引导蒸发物质流向该处理室；及监控装置（２８），其用于测量物质从所述容器蒸发的随时间的速率，以便可以监控传输至所述处理室的蒸发物质的流量。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种用于将物质传输至处理室的传输系统和方法，以及包含这一传输 系统的用于对物品表面进行等离子处理的设备。
技术介绍
传输系统至今已知用于将来自高沸点液体的蒸汽传输并计量至真空室，以便在真 空室内进行化学或物理处理。这种已知系统不很适合于液体是化学反应性单体的情况。在一个已知的起泡器系统中，通过液体的载气泡，吸收蒸汽并将其传输至真空室。 在一个已知的蒸发器系统中，产生足够高的蒸汽压(大约1托的量级)以经由质量流量控 制器将蒸汽传输至真空室中。在蒸汽传输系统中，液体被加热并通过小口抽取，典型地由载 气协助。起泡器和蒸汽传输系统遭遇需要载气流的缺点，因而对蒸汽/载体组合物的可行 范围有限定。蒸发器系统具有缺点，即液体必须被加热至足够高的温度以便产生能使质量 流量控制器正常工作的足够高压。这样的高温蒸发器系统遭遇伴随的不稳定的风险，包括 在液体是单体的情况下聚合的风险。蒸汽传输系统遇到的另一问题是蒸汽传输系统还倾向于或者是由于液体中的微 粒污染或者是由于液体是单体的情况下的聚合倾向而阻塞小孔。现有技术已公布的国际专利申请W0-A3-2006/057708(Tokyo Elec本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于将物质传输至处理室的传输系统，在使用中，至少一个大物品位于所述处理室中以便将一个或多个性质赋予所述大物品的表面，所述系统包含：　　物质容器，其用于容纳从液体物质源供应的物质；　　蒸发装置，其用于蒸发所述容器中的液体物质；　　流动引导装置，其用于引导蒸发物质流向所述处理室；及　　监控装置，其用于测量物质从所述容器蒸发的随时间的速率，以便能够监控传输至所述处理室的蒸发物质的流量。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：佛瑞德霍珀，
申请(专利权)人：P二I有限公司，
类型：发明
国别省市：GB[英国]