热源制造技术

本发明专利技术涉及一种用于汽相淀积设备的、用来将源物质供给到反应器中的热源，该热源（１）包括具有用于源物质的源空间（４）的源容器（２）。在本发明专利技术中，源（１）还包括盖（６），该盖（６）包括用来加热盖（６）的第一加热装置（８），盖（６）以这样一种方式可拆卸地安装在源容器（２）中，即由第一加热装置（８）产生的热量通过传导传递到源容器（２）并进一步传递到源空间（４），以加热源物质。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种在用来将源物质进给到反应器中的ALD (原子层 淀积)和CVD法(化学汽相淀积)中使用的热源。特别是，本专利技术 按照权利要求1涉及一种用来将源物质进给到反应器中的汽相淀积设 备的热源，源包括具有用于源物质的源空间的源容器。
技术介绍
当用汽相淀积方法，如ALD和其它CVD方法产生结构时，在将 源物质进给到反应器的反应空间之前，必须将它们转化成气体形态， 因为在这些方法中，反应发生在与基片的表面紧密相互作用的气相中。 对于多种方法来说，在NTP条件下没有理应是气体的适当源物质，所 以这样的方法必须利用液体和固体。由于液体和固体与气态物质的对 应压力相比具有低汽压，所以它们常常必须被加热，以达到足够的汽 压。当借助于所谓的溢流原理使用源时，这样的加热典型地是在反应 器的系统压力的近似10%至50%的压力下实现。如果需要，可使温度 上升，以使源的压力超过反应器的系统压力，可以说是，借此不要求 气体溢流而源可以在其自身的汽压下被使用。为了防止汽化源物质凝 结，这些源物质必须以这样一种方式输送到反应器中，即与源物质相度或比其高的温度。按照现有技术，热源被集成到反应器腔室的内部，并且通过利用 所谓的惰性气体阀系统而设有锁。这种解决方案的问题是，当变更基 片时，惰性气体阀系统需要的锁以及源物质在变更基片之前都必须冷 却。这表示要停止反应器的运行，要使源物质经受不希望有的温度变 化，以及会增大来自较高压力和增加室内空气的污染次数。进一步说，当使用这样一种源时，反应器的系统压力绝不能下降到低于源的汽压， 因为在这种情况下，源物质会不受控制地排放到反应器中。而且，由 于以上方面，源物质不能在源内保留较长时间。用来将热源安装在汽相淀积反应器上的另一种现有技术解决方案 是利用设有阀的金属罐，固体源物质被放置在罐内，并且具有阀的罐 被设置在位于与反应器相邻或与反应器相连接的真空或对流炉中。来 自罐的管子设有例如电阻丝，以避免所述凝结现象。这种解决方案提供一种安装固体源的惰性方式，但最高可能工作温度，即近似200'C 至250。C的高温要由阀确定，该阀的使用寿命在高温下会显著地缩短。 如果将阀设置在炉外面，则必须装设一些额外的管道，并且，在设备 中形成冷桥。这样的冷桥比如产生在具有执行器连接的阀中。而且， 为此使用的炉子占用大量空间并且昂贵。采用炉子解决方案也很麻烦， 因为罐大且重，并且安装和拆卸它们需要工具。设有阀的金属罐也昂贵。
技术实现思路
本专利技术的目的因而是提供一种能解决上述问题的热源。本专利技术的 目的是借助于根据权利要求1的特征表述部分的热源来实现，所述热 源的特征在于，源还包括盖，该盖包括用来加热盖的第一加热装置， 盖以这样一种方式可拆卸地安装在源容器中，即由第一加热装置产生 的热量通过传导传递到源容器和进一步传递到源空间，以加热源物质。本专利技术的优选实施例公开在从属权利要求中。本专利技术基于如下想法被加热的源的源容器以这样一种方式成形， 即包括用于源物质的源空间的源容器设有盖，所述盖可从源容器拆卸。 盖在上下文中是指可拆卸地附设到源容器上的任何结构零件。优选地， 盖被设置在源容器上，因而封闭源空间。盖还设有第一加热装置，该 第一加热装置用于加热盖，使得热量通过传导从盖传递到可拆卸地附 装到盖上的源容器，以加热源空间和其中的源物质。盖还设有管道系 统和进给通道，该进给通道从盖延伸到反应器，以便将源物质从源空反应器中。进给通道设有第二加 热装置，该第二加热装置优选地设置在用于源物质的进给通道内。在 这种方式中，提供一种在所有条件下都有可能在源空间与反应器之间 保持上升的温度梯度的结构。换句话说，本专利技术的目的是提供一种结 构，在该结构中为源空间形成一个可拆卸的、附设到源空间上的盖。 所述盖包括用来将源物质进给到反应器中的可加热进给通道。进给通 道因而通过盖的管道系统与源容器的源空间进行液体连通，从而借助 于盖的加热装置和进给通道的加热装置，在源容器与反应器之间可达 到上升的温度梯度。源需要的盖设有供执行器用的表面安装阀。本专利技术的方法和配置的优点是，源容器和/或源物质可更换而不用 冷却或打开反应器。进一步说，不需要加热源物质的昂贵的炉子，并 且便于将源安装在反应器上。此外，结构使冷点的产生达到最低限度， 因为本专利技术的源允许以简单方式在源空间与反应器之间达到上升的温 度梯度，这个上升的温度梯度防止源物质凝结。更进一步说，源模块 结构能够根据每种特定用途的要求变更源，借此能够将需要数量的、 根据本专利技术的源，例如通过并联或串联方式连接到反应器上。进一步 说，借助于为被加热的盖提供的表面安装元件连接到源上的管道系统 和阀的温度能以简单和可靠方式保持在凝点以上。附图说明现在参照附图，联系优选实施例将更详细地描述本专利技术，在附图中图1示出根据本专利技术实施例的一种热源的横截面；和 图2示出图1的热源的俯视图。具体实施例方式参照图l，该图示出根据本专利技术的一种热源1的实施例的横向剖 视图。源1包括源容器2,在该源容器2中，设有提供源物质的源空 间4。源容器2由导热良好的材料，如铝制造。因而，源容器2优选7地是通过机加工已经加工好源空间4的大块材料，或者源容器2可以 通过铸造制造。在根据图l的实施例中，源空间4是圆柱形空间，但 它也可以是另一种形状的空间。源空间4还设有由玻璃或其它惰性材 料制成的杯式或类似容器，在该容器内可放置源物质。优选地，源空 间4的一个壁按照图l是敞开的。在图1中，这个敞开壁是源空间4 的上壁。也有可能为这个敞开空间设有可打开的锁或类似阀的结构， 借助于该结构或锁，源空间4可被封闭或与周围分离。这样，当将源 空间从源上拆下时以及在安装源容器期间源空间可保持封闭，并且当^。源容器还可以设^窗或类似结构，当源容器;安装在源，时，^够 通过窗或类似结构观察源物质。因而，可对源物质的状况和充足性进 行光学监视。在源容器上设有盖6，盖6处于源空间4上。盖6和源 容器2借助于快速解脱锁扣，优选地如螺栓结构可相互连接，这可以 使源容器2能轻易而迅速地从盖6上拆下来。源空间的闭锁装置能以 这样一种方式与源容器2的设施和可分离件相连接，即当源容器安装 到位时，闭锁装置打开源空间4，并且当从盖6上拆下源容器2时， 闭锁装置重新封闭源空间。闭锁装置可以是类似阀结构或类似闸门结 构等，闭锁装置的操作可以是自动的，以便将源容器2附装到盖6上 和从其上拆下，也可以对闭锁装置分别进行控制。盖6设有用来加热 盖6的第一加热装置8 (图2)。第一加热装置8可以是例如可更换热 盒，如加热管或加热电阻器，在盖6上可以有一个或几个热盒。像源 容器2—样，盖6优选地由导热材料，如不锈钢、铝或铝合金、或其 它相应材料制造。盖6和源容器2以及在它们之间的连接是以这样一 种方式装设，即第一加热装置8产生的热量能通过传导从盖6传递到 源容器2。因而，源容器2和盖6彼此贴紧设置，能够实现热量的传 导。这意味着，在根据本专利技术的解决方案中，不必单独加热源空间4， 但源空间4被从盖6传导来的热量加热。盖6设有表面安装装置和/或表面安装阀12，用于连接执行器和进 口导管及要安装在源中的其它元件。表面安装装置12设计成耐高温，并且它们的冷桥已减到最低限度。利用表面安装本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种设置在用于汽相淀积设备的反应器外部的可加热源，用于将源物质输送到反应器中，所述源（１）包括具有用于源物质的源空间（４）的源容器（２），该源容器（２）能可拆卸地连接到盖（６）上，所述盖（６）具有第一加热装置（８），该第一加热装置用于加热盖（６），使得热量通过传导被传递到源容器（２）并再传递到源空间（４）以加热源物质，其特征在于，盖（６）进一步包括与源空间（４）流体连通的、可加热的进给通道（１４），该进给通道（１４）以这样方式将源物质从源空间（４）输送到反应器中，即在源容器（２）与反应器之间可达到上升的温度梯度。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：P索伊尼宁，S斯耐克，
申请(专利权)人：BENEQ有限公司，
类型：发明
国别省市：FI[芬兰]