生产三氯硅烷的方法技术

利用氯化氢、冶金级或化学级硅原料的主反应的受污染副产物和／或改良西门子法的副产物制备高纯度三氯硅烷（ＴＣＳ）的方法，所述副产物包括含有低沸点杂质如二氯硅烷（ＤＣＳ）的“不纯的”ＴＣＳ和含有高沸点杂质的“不纯的”ＳＴＣ。首先将“不纯的”ＳＴＣ纯化，使一部分与含有ＤＣＳ的“不纯的”ＴＣＳ反应以生成向ＴＣＳ纯化过程的附加的ＴＣＳ原料。将另一部分纯化的ＳＴＣ氢化并再转化为ＴＣＳ，从而提供向ＴＣＳ纯化过程的另一原料。所生产的高纯度ＴＣＳ的总的净产率相对于现有技术得到提高。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及制备三氯硅烷的方法，更具体地说，涉及由利用冶金级或化学级硅原 料的主反应的副产物、改良西门子法(Improved SiemensProcess)的副产物或其组合制备 高纯度三氯硅烷的方法。
技术介绍
本专利技术涉及制备多种工业中使用的高纯度三氯硅烷(简称TCS，化学式为HSiCl3) 的领域。TCS是用于生产用于电子技术和粘合剂的多种硅烷的有价值的中间产品。TCS，尤 其是高纯度级TCS，用于电子工业中，其中包括例如用于制备太阳电池级和电子级多晶硅， 它们产生四氯化硅作为副产物。制备高纯度TCS的方法已知于很多专利中，包括例如美国专利No. 4，112,057、 3，540，861 和 3，252，752。将碱性固体用作TCS的纯化助剂已知于例如美国专利No. 6，843，972中。有时在工业中将粉状铜催化剂用于类似的反应。据报道，使用粉状铜或铜金属、 铁、铝或钒的金属卤化物和溴化物或碘化物的混合物使硅与四氯化硅、氢以及必要时的氯 化氢反应。参见例如化学文摘 ChemicalAbstracts CA 101，no. 9576d，1984 和 Chemical Abst本文档来自技高网...

【技术保护点】
利用改良西门子法的污染的副产物制备高纯度三氯硅烷（ＴＣＳ）的方法，该方法包括以下步骤：通过冶金级或化学级硅与氯化氢的反应合成“粗”ＴＣＳ，其中该“粗”ＴＣＳ是ＴＣＳ纯化过程的主要原料；将“粗”ＴＣＳ纯化，以分离出具有低沸点杂质和二氯硅烷（ＤＣＳ）的“不纯的”ＴＣＳ和含有高沸点杂质的“不纯的”四氯化硅（ＳＴＣ）；由“不纯的”ＳＴＣ进行ＳＴＣ的纯化；将纯化的ＳＴＣ氢化，以生产向ＴＣＳ纯化过程的附加的“粗”ＴＣＳ进料；以及使“不纯的”ＴＣＳ与纯化的ＳＴＣ在催化剂存在下反应以生产ＴＣＳ，该ＴＣＳ作为向ＴＣＳ纯化过程的附加的ＴＣＳ原料进行再循环。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：JM小比尔，CW梅尔克，
申请(专利权)人：动力工程公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]