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利用氯化氢、冶金级或化学级硅原料的主反应的受污染副产物和／或改良西门子法的副产物制备高纯度三氯硅烷（ＴＣＳ）的方法，所述副产物包括含有低沸点杂质如二氯硅烷（ＤＣＳ）的“不纯的”ＴＣＳ和含有高沸点杂质的“不纯的”ＳＴＣ。首先将“不纯的”ＳＴＣ...
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