在生产三氯硅烷的方法中制备硅和催化剂材料技术

技术编号:5387250 阅读:178 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
用于制备三氯硅烷的方法,通过在硅和催化剂存在的条件下使硅与氯化氢或者四氯化硅与氢气反应,其中在反应前将硅和催化剂一起层压并降低颗粒尺寸。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及制备三氯硅烷的方法,更特别涉及部分通过层压(laminate)制备三 氯硅烷的方法。
技术介绍
本专利技术涉及由混合的硅烷原料制备高纯三氯硅烷(縮写为TCS)的领域。 TCS是用来制备用于电子器件和粘合剂的多种硅烷的有价值的中间产物。TCS,特别是高纯级的TCS,用于电子工业,包括用于制备太阳能和电子级多晶硅并,其产生作为副产物的四氯化硅。 在较低温度下由硅和氯化氢或者由四氯化硅和氢气在硅和氯化氢存在的条件 下制备高纯TCS的常规方法已知于许多专利中,包括例如美国专利No. 4, 117, 094和 4, 424, 198,以及CA A_l, 162, 028。 碱性盐作为向TCS的反应的选择性助剂的用途是已知的,例如由美国专利 No. 5, 871, 705已知。在该工业中有时将铜粉催化剂用于该反应。据报道,利用铜粉或者金 属铜、金属卤化物和铁、铝或钒的溴化物或碘化物的混合物来使硅与四氯化硅、氢气以及必 要时的氯化氢反应。参见例如Chemical Abstracts CA 101, no. 9576d, 1984和Chemical Abstracts CA 109,本文档来自技高网...

【技术保护点】
用于制备三氯硅烷的方法,该方法包括以下步骤:  将硅和一种或多种催化剂一起层压;  降低硅和一种或多种催化剂的颗粒尺寸;以及  使硅和氯化氢在该一种或多种催化剂存在的条件下反应,或者使四氯化硅和氢气在硅和该一种或多种催化剂存在的条件下反应。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】US 2007-8-29 60/968,679;US 2008-8-28 12/200,032用于制备三氯硅烷的方法,该方法包括以下步骤将硅和一种或多种催化剂一起层压;降低硅和一种或多种催化剂的颗粒尺寸;以及使硅和氯化氢在该一种或多种催化剂存在的条件下反应,或者使四氯化硅和氢气在硅和该一种或多种催化剂存在的条件下反应。2. 根据权利要求1的方法,其中层压在辊压机中进行。3. 根据权利要求1的方法,其中颗粒尺寸的降低产生约5mm或更小的颗粒尺寸。4. 根据权利要求3的方法,其中颗粒尺寸的降低产生约0. 001mm到约1. 0mm的颗粒尺寸。5. 根据权利要求3的方法,其中颗粒尺寸的降低产生约O. 2mm到约0. 6mm的颗粒尺寸。6. 根据权利要求l的方法,其中颗粒尺寸的降低在粉碎机中进行,该粉碎机由其中从 粉碎机中磨损的颗粒有助于期望的反应的催化作用的材料构成。7. 根据权利要求6的方法,其中粉碎机涂有碳化钨。8. 根据权利要求l的方法,其中该一种或多种催化剂选自铁、铜、铁氧化物...

【专利技术属性】
技术研发人员:小乔恩M比尔卡尔W默克
申请(专利权)人:动力工程公司
类型:发明
国别省市:US[美国]

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1