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用于制备三氯硅烷的方法，通过在硅和催化剂存在的条件下使硅与氯化氢或者四氯化硅与氢气反应，其中在反应前将硅和催化剂一起层压并降低颗粒尺寸。...
该专利属于动力工程公司所有，仅供学习研究参考，未经过动力工程公司授权不得商用。

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