无碱玻璃基板的制造方法技术

本发明专利技术的课题在于，提供高效地生成能利用清洗工序容易地除去的保护皮膜、并且在实现降低亚硫酸气体的使用量的同时抑制玻璃基板背面的损伤产生的无碱玻璃基板的制造方法以及通过该制造方法得到的无碱玻璃基板。本发明专利技术涉及制造无碱玻璃基板的方法，通过浮法制造无碱玻璃基板，其特征在于，具有使熔融玻璃在熔融锡上成形为玻璃基板的成形工序和使由所述成形工序成形的所述玻璃基板缓冷的缓冷工序，并且具有向所述玻璃基板的与所述熔融锡接触侧表面喷吹含有碱金属的无机物质的第一供给工序；和在所述第一供给工序之后向所述玻璃基板的与所述熔融锡接触侧表面喷吹ＳＯ↓［２］气体的第二供给工序。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及。
技术介绍
以显示器用玻璃基板为代表的玻璃基板大多通过浮法或熔融法制造。浮法与熔融法不同，是在能够高效制造大面积的玻璃基板方面优良的制法。一般来说，该浮法具有使熔融玻璃在熔融锡浴中的熔融锡上成形为玻璃基板的成形工序和缓冷由成形工序成形的玻璃基板的缓冷工序。但是，由于由该成形工序成形的玻璃基板在离开熔融锡浴之后利用辊来进行输送，因此在输送中，玻璃基板的背面(与辊接触侧)受到损伤，存在使玻璃基板的品质降低的问题。这里，为了防止在该输送中产生的玻璃基板背面的损伤，公知的方法是向玻璃基板背面喷吹亚硫酸气体(S02气体)，使其与玻璃中存在的碱金属(例如，钠等)反应，在玻璃基板的背面形成硫酸钠，并通过将其作为保护膜而发挥作用来进行损伤的防止(例如，参照专利文献1及非专利文献1等)。专利文献l:国际公开第2002/051767号小册子非专利文献1: U. Senturk etc, J. Non-Cryst. Solids,第222巻，p.160(1997)
技术实现思路
但是，为了实现近年来的高品质显示器所要求的高的损伤防止能力，必须进一步增加保护膜的厚度，因此，由于必须大量使用亚硫酸气体，存在环境负荷和工作环境变差的问题。并且，由于亚硫酸气体是高腐蚀性气体，因此会腐蚀周围的耐火衬里，还存在耐火衬里的寿命縮短的问题。特别是，在制造由实质上不含碱金属的玻璃(以下也称为"无碱玻璃")构成的玻璃基板时，利用喷吹亚硫酸气体的方法并不生成硫酸钠，而在玻璃基板中生成作为与碱土金属的反应生成物的硫酸钙、硫酸锶等盐。以碱土金属为来源的这些盐虽然作为玻璃基板的防止损伤的保护皮膜而发挥作用，但由于其生成率显著低于硫酸钠，因此存在作用不充分的情况。并且，即使生成但却为水难溶性盐，因此存在极难通过之后的清洗工序而除去的问题。并且，这些盐虽然能够通过研磨而除去，但为了得到平滑性高的玻璃基板，必须研磨相当的厚度，因而存在制造时间、制造成本增大的问题。并且，无碱玻璃要求平板显示器等的高品质表面，如果玻璃基板上存在损伤则会导致断线不良等问题，因此在窗玻璃、汽车玻璃的用途上，小损伤也会成为问题。这里，本专利技术的目的在于，提供由能够用于液晶显示器的无碱玻璃构成的玻璃基板(以下也称为"无碱玻璃基板")的制造方法，即，提供能够高效地生成可以利用清洗工序容易地除去的保护皮膜，并且在实现降低亚硫酸气体的使用量的同时能够抑制玻璃基板背面的损伤的产生的以及通过该制造方法得到的无碱玻璃基板。6本专利技术人为了达到上述目的而进行了专心研究，结果发现在利用浮法的制造工序中，向玻璃基板的与熔融锡接触侧表面喷吹含有碱金属的无机物质来提供碱金属，接着向该表面喷吹S02气体，由此，能够高效地生成能利用清洗工序容易地除去的保护皮膜，并且在实现降低亚硫酸气体的使用量的同时能够抑制玻璃基板背面的损伤的产生，从而完成了本专利技术。艮P，本专利技术提供以下的(1) (14)。(1) 一种制造无碱玻璃基板的方法，通过浮法制造无碱玻璃基板，其特征在于，具有使熔融玻璃在熔融锡上成形为玻璃基板的成形工序和使由所述成形工序成形的所述玻璃基板缓冷的缓冷工序，并且具有向所述玻璃基板的与所述熔融锡接触侧表面喷吹含有碱金属的无机物质的第一供给工序；和在所述第一供给工序之后向所述玻璃基板的与所述熔融锡接触侧表面喷吹S02气体的第二供给工序。(2) 如上述(l)所述的制造无碱玻璃基板的方法，其中，所述第一供给工序在所述成形工序和所述缓冷工序之间实施。(3) 如上述(l)所述的制造无碱玻璃基板的方法，其中，所述第一供给工序在所述玻璃基板的玻璃化转变温度ilO(TC范围内的温度下实施。(4) 如上述(l)所述的制造无碱玻璃基板的方法，其中，所述第一供给工序在600 80(TC下实施。(5) 如上述(1) (4)中任一项所述的制造无碱玻璃基板的方法，其中，所述第二供给工序在所述成形工序和所述缓冷工序之间实施。(6) 如上述(1) (4)中任一项所述的制造无碱玻璃基板的方法，其中，所述第二供给工序在所述玻璃基板的玻璃化转变温度士10(TC范围内的温度下实施。(7) 如上述(1) (4)中任一项所述的制造无碱玻璃基板的方法，其 中，所述第二供给工序在600 80(TC下实施。(8) —种制造无碱玻璃基板的方法，通过浮法制造无碱玻璃基板， 其特征在于，具有使熔融玻璃在熔融锡上成形为玻璃基板的成形工序， 并且具有在600 80(TC下向所述玻璃基板的与所述熔融锡接触侧表 面喷吹含有碱金属的无机物质的第一供给工序；和在所述第一供给工 序之后、在600 80(TC下向所述玻璃基板的与所述熔融锡接触侧表面喷吹S02气体的第二供给工序。(9) 如上述(1) (8)中任一项所述的制造无碱玻璃基板的方法，其 中，还具有除去所述保护膜的清洗工序。(10) 如上述(1) (9)中任一项所述的制造无碱玻璃基板的方法，其 中，所述含有碱金属的无机物质含有钠和硼。(11) 如上述(10)所述的制造无碱玻璃基板的方法，其中，所述含有 碱金属的无机物质为四硼酸钠。(12) —种无碱玻璃基板，通过权利要求10或11所述的制造方法 制造。(13) —种无碱玻璃基板，通过权利要求10或11所述的制造方法 制造，其特征在于，以氧化物标准的质量百分数表示，所述玻璃基板 含有SiO2:30 85%、 Al2O3:0 35%、 B2O3:0 35%、 MgO:0 35%、 CaO:0 35%、 SrO:0 35%、 BaO:0 35%、碱金属成分:0.5%以下，并 且所述玻璃基板的与所述熔融锡接触侧表面的平均硼浓度为4 10原8子％，硼向所述玻璃基板内部的扩散深度为5nm以上。(14) 一种无碱玻璃基板，其特征在于，以氧化物标准的质量百分 数表示，含有SiO2:30 85%、 Al2O3:0 35%、 B2O3:0 35%、 MgO:0 35%、 CaO:0 35%、 SrO:0 35%、 BaO:0 35%、碱金属成分:0.5%以 下，并且至少任意一侧表面的平均硼浓度为4 10原子％，硼从该表面 向内部的扩散深度为5nm以上。专利技术效果如以下所示，根据本专利技术，能够提供高效地生成能利用清洗工序 容易地除去的保护皮膜、并且在实现降低亚硫酸气体的使用量的同时 能够抑制玻璃基板背面的损伤的产生的以及 通过该制造方法得到的无碱玻璃基板。附图说明图1是表示利用浮法的玻璃生产线的一例的概念图。 图2是表示实施例中使用的大型管式炉的截面图。 图3是表示耐损伤性评价中使用的f — "一(Taber)试验机的磨耗 轮接触的部分(磨耗部)和损伤数量测定部位(测定部)的说明图。标号说明i ;§融锡2熔融锡浴3熔融炉4熔融玻璃5引出辊6缓冷炉11大型管式炉12石英管13无碱玻璃基板14氧化铝舟皿 15试剂16、 17箭头 18试验体 19磨耗部 20测定部具体实施例方式以下，对本专利技术详细地进行说明。本专利技术的第一方式的(以下，也称为"本 专利技术的制造方法")是通过浮法制造无碱玻璃基板的无碱玻璃基板的制 造方法，具有使熔融玻璃在熔融锡上成形为玻璃基板的成形工序和使 由上述成形工序成形的上述玻璃基板缓冷的缓冷工序，并且具有向上 述玻璃基板的与上述熔融锡接触侧表面(以下，也称为"底面本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种制造无碱玻璃基板的方法，通过浮法制造无碱玻璃基板，其特征在于，　具有使熔融玻璃在熔融锡上成形为玻璃基板的成形工序和使由所述成形工序成形的所述玻璃基板缓冷的缓冷工序，　并且具有：向所述玻璃基板的与所述熔融锡接触侧表面喷吹含有碱 金属的无机物质的第一供给工序；和在所述第一供给工序之后向所述玻璃基板的与所述熔融锡接触侧表面喷吹ＳＯ↓［２］气体的第二供给工序。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：竹田谕司，谷井史朗，东诚二，
申请(专利权)人：旭硝子株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]