反射型编码器、其标尺以及标尺的制造方法技术

本发明专利技术提供一种反射型编码器、其标尺以及标尺的制造方法。该反射型编码器具有光源、形成从该光源照射光的多个图形的标尺、以及分别接收由上述多个图形各自反射的光的受光元件，从单个标尺得到多个受光信号，该反射型编码器在上述标尺的单一轨道上，使用电介质形成厚度不同的多个图形，并且从上述光源，照射根据电介质厚度的差而明暗不同的多个波长的光，得到按每个电介质厚度的受光信号，由此将多个图形叠加在同一轨道上来使标尺小型化。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种反射型编码器、其标尺、以及标尺的制造 方法，特别涉及一种适于在线性编码器、旋转编码器等光电式编码器中使用的、能够以单轨实现增量(INC)图形和原点 (ABS)图形的反射型编码器、其标尺、以及标尺的制造方法。
技术介绍
铬等金属、或者氧化硅等电介质在线性编码器、旋转编码 器等光电式编码器中使用的标尺上成膜并形成图形。特别是在增量编码器中，除了INC图形之外还设置原点图 形，例如在电源刚刚接通之后，使该原点图形强制通过，由此 校正检测位置。在此，作为将INC图形、与原点图形(参照标记)或者绝 对位置(ABS)码图形(统称为ABS图形) 一起配置在标尺上 的编码器，以往，如与日本特开2001-82984号7〉才艮(专利文献l ) 的图2 (a)对应的图l所示，提出在标尺l的支承体l.l上并列设 置例如刻度周期TPM的INC图形1.2和参照标记(原点图形)1.3。 在图l中，X是测量方向。另外，如与日本特表2004-529344号公报(专利文献2)的 图1对应的图2所示，还提出如下技术通过组合具有A段所示 的反射线12和非反射线14的反复图形的INC图形10、与具有B 段本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种反射型编码器，具有光源、形成有来自该光源的光所照射的多个图形的标尺、以及分别接收由上述多个图形各自反射的光的受光元件，由单个标尺得到多个受光信号，其特征在于，　在上述标尺的单一轨道上，使用电介质形成厚度不同的多个图形，并且　 根据电介质厚度差而从上述光源照射明暗不同的多个波长的光，　得到每个电介质厚度的受光信号。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员：富永淳，夜久亨，
申请(专利权)人：株式会社三丰，
类型：发明
国别省市：JP[日本]