【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及基板温度的测量技术，特别涉及利用从基板放射出的红外线的基板温 度测量装置和基板温度测量方法。
技术介绍
氧化锌(ZnO)系半导体的激子结合能大，室温下也能够稳定存在，并且能够释放 出单色性优良的光子，因此，正在逐渐应用于作为照明、背光等的光源而使用的发光二极管 (LED)、高速电子设备、或表面弹性波设备等。此处，“ZnO系”是指以ZnO为基体的混晶材料， 包括以IIA族元素或IIB族元素置换部分Zn(锌)的材料、以VIB族元素置换部分0(氧) 的材料、或是这双方组合而成的材料。以前，在将ZnO系半导体用作p型半导体时，存在难以向ZnO系半导体进行受体掺 杂，从而难以获得P型ZnO系半导体的问题。技术的进步使得能够获得p型ZnO系半导体， 也确认了其发光性能(例如参照非专利文献1，2)。通常，在半导体设备中，通过层积掺杂杂质的种类不同或掺杂量不同的薄膜或层 积组分不同的多种薄膜等，来实现所希望的性能。在这种情况下，经常是薄膜的平坦性出现 问题。这是由于如果薄膜的平坦性不好，载流子在薄膜中移动时的阻力变大，在薄膜的层积 结构中，越是后面形成的薄膜其表面...
【技术保护点】
一种基板温度测量装置，其特征在于，具有：加热基板的加热源；使不能透过所述基板的波长区域的红外线透过的透射窗；温度测量器，该温度测量器的灵敏度范围包含所述波长区域，对从被所述加热源加热了的所述基板放射出、透过所述透射窗的红外线进行分析来测量所述基板的基板温度。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：中原健，川崎雅司，大友明，塚崎敦，
申请(专利权)人：罗姆股份有限公司，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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