一种薄膜晶体管，在栅电极上形成包括第１绝缘膜和第２绝缘膜的栅绝缘膜，在第２绝缘膜上形成用ＺｎＯ等的半导体层。第１绝缘膜用绝缘性高的ＳｉＮ↓［Ｘ］等形成，另一方面，第２绝缘膜由氧化物（例如ＳｉＯ↓［２］）形成。根据该结构，能够实现与第２绝...