涂布非连续特征图案的方法和设备技术

一种能够在多通道成像头的一个通路中成像的非连续特征的图案，被分成非连续特征组。在多通道成像头的单次扫描期间单独地对每个非连续特征组进行成像。在所有组已经分别被成像之后，该图案能够被完全成像。一组的非连续特征可与这些组中的另一组的非连续特征交织。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】涂布非连续特征图案的方法和设备相关申请0001本申请要求2006年6月30日提交的、名称为"涂布非连续特征图案的方法和装置"的美国临时申请号60/806，452的优先权。駄领域0002本专利技术涉及成像系统和方法。本专利技术的实施例提供了用于对非连续特征(non-contiguous feature)图^iS4亍成f象的方法和设备。本专利技术可适用于，例如制造用于电子显示器的滤色镜(color filter)。
技术介绍
0003用于制it^示器和半导体电子器件的常用技术包括若干成像步骤。典型地，在齡步骤中，涂有抗蚀剂或其它敏感材料的衬底(substote) fflil光工具掩模(photo-tool mask)暴露给辐射以实现一些改变。*步骤具有有限的失败风险。在齡步骤失败的可能性减少了总的过程产量且增加了成品的成本。0004特定示例是制造用于诸如液晶显示器之类的平板显示器的滤色镜。由于材料的高成本以及低的过程产量，滤色镜制造是非常昂贵的过程。传统照相平板印刷处理包括4OT涂布技术把彩色抗蚀材料涂布到衬底，所述涂布技术诸如旋转涂布、狭缝^&定转涂布或非旋转涂布。于是该材料经由光工具掩模曝光和显影。0005已经提出了热转印过程(thermal transfer process)以在显示器制造和特定滤色镜中使用。在这样的过程中，也被称为接收器元件的滤色镜衬底，覆盖有施主(donor)元件，其然后成影像地被曝光以有选择iiyE着色剂,Ali主元件转印(transfer)至赎收器元件。成影像的 方法使用激光束来促使着色剂至嗾收器元件的转印。由于二极管激光器易于调制，低成本和小尺寸，所以尤其雌二极管激光器。0006热转印过程可包括激光诱导的"热转印"过程、激光诱导的"染料转印(dye transfer)"过程、激光诱导的"熔條印(melt transfer)"过程、激光诱 导时邻融转印(ablation transfer )，，过程以及激光诱导的"质量转印(腦s transfer)" 过程。热转印过程期间转印的着色齐脂g够包括合适的基于染料，料的混合物。 诸如一个或多个粘合剂(binder)之类的另外的元素可被转印，如在激光诱导的 质量转印过程中所已知的。0007直接成像系统典型地使用许许多多单独被调制的并行射束，以减少 完成图像所花的时间。具有大量的这样盼'鹏(channel)"的成像头易于获得。 例如，由加拿大的不列颠哥伦比亚的Kodak Graphic Communications Canada Company(柯达图形通信加拿大公司)制造的SQUAREspot⑧热成像头的一种模 型具有几百个独立的成像M， ^Slit的功率均皿25mW。會g够控制成像 鹏的阵列以写出成一系列长条(swath)的图像，这些图像长条紧密对齐以形 成连续的图像。0008多通道成像系统的一个问题是极其难以确保所有Mit具有同样的成 像特性。这些通道TO在成像的介质上的输出辐射的差异可导lMt之中的不 同的成像特性。由成Jtffl道的阵歹U所发出的输出辐射的变化可能源自通道对通 道在功率、射束大小、射束 M^和/或焦点方面的变化。这些变化对被称为条带 效应(banding)的普通成像瑕疵(artifact)的产生有贡献。条带效应在两个连续成像的长条之间的区域常常尤其显著。这主要是因为最后成像的长条的末端 和下一个成像的长条的开始通常通Mm写在多通道阵列的相对末端处。同样 地，这些鹏更可能具有不同的成像特性。鹏到通道的点(spot)特性的逐渐 增加在长条本身范围内可能是可见的也可能不可见，但是当长条与另一长条邻 接时，长条边界处的可见的不连续(discontinuity)可导致图像中的明显的 (pronounced)瑕疵。条带效应會詢多;i^续长条的任何^^分离以及是旨单 独的长条之内的M的变化的函数。0009己经4顿了各种方法来试图精确地定位长条，使其彼此紧跟。典型 地，对成像的长条的位置的精确控制是必要的，但是并不足以消除条带效应， 尤其当成像系统随着时间的流逝响应周围因素的变化而改变时。条带效应瑕疵可能并不单独归因于成像系统。成像介质本身也对条带效应，和其它成像瑕疵 有贡献°0010美国专利号4,900,130; 5,164,742; 5,278,578; 5,808,655; 6,597,388;6,765,604和6,900,826公开了试图减轻诸如条带效应之类的各种瑕疵问题的各种 方法。0011已经提出了"光栅扫描线"交织技术来减少条带效应和其它成像瑕 疵。光栅扫描线交织技术的示例在美国专利号5,691,759; 6，597,388; 6,784,912和 6,037,962中被公开。当成像非连续特征的图案时，包括条带效应的图像瑕疵可 进一步恶化。0012当在非连续特征的重复图案的成像中采用热转印过程时，也t^(吏 图像瑕疵复杂化，该非连续特征的重复图案是滤色镜的生产中所典型需要的。 滤色镜典型地由颜色元素(color element)的重复图案组成，*元素对应于滤 色镜所需的颜色之一。典型地，每个颜色元素的宽度小于t,用多M成像头 成像的总长条的宽度。当改 色转印效率而致{ 色元素之间以及元素自身 之内的差异时，育滩导致包括条带效应的各禾中图像瑕疵。由于这些线形成重复 图案，所以导致人眼容易感觉至啲视觉干扰，因此典型地斷氐了滤色镜的质量。0013需要减轻与非连续特征的图案的成像有关联的条带效应和其它成像 瑕疵的可见性的成像方法。需要减轻与非连续特征的重复图案的成像有关联的 条带效应和其它成像瑕疵的可见性的成像方法，该重复图案诸如滤色镜中的颜 色元素的图案。
技术实现思路
0014一种对非连续特征的图像进行成像的方法，包括在多M成像头 的第一次扫描期间操作该多通道成像头，其中该成像头相对于接收器元件前进， 以通过热转印过程把第一和第二非连续特征从施主元件转印至鹏收器元件；以 及随后在该成像头的第二次扫描期间操作该多通道成像头，其中操作成像头以 通过热转印过程把第三非连续特征从施主元件转印到接收器元件。第一和第二 特征另外至少沿副扫描方向在空间上彼此分离。第三特征在第一和第二特征之 间，并且至少在副扫描方向在空间上与第一和第二特征中的每一个分离。在第 一次和第二次扫描中，在相对于接收器元件相同的方向或者相反的方向，成像 头可相对于接收器元件移动。0015本专利技术的另一方面提供了一种用于在接收器元件上形成多个非连续特征的方法。该方法包括顺序地将多^lt征子组转印至赎收器元件的区域。对于每个子组，所述方法包括操作包括多个通道的成像头来在扫描方向相对于接收器元件移动所Mit，其中该区i^横向于扫描方向的副扫描方向窄于成像头的长条。^子组的非连续特征的转印在成像头的一次扫描中完成。所述 特征由间隙来加以分离开，所述间隙是至少一个鹏宽，并且典型地是两个或 更多个通道宽。Wir征由一组至少两个相邻m构成。0016下面描述本专利技术的另夕卜的方面以及本专利技术的实施例的特征。 附图说明0017根据对下面结合附图所考虑并呈现的4媳实施例的详细描述，本专利技术将更容易理解，其中0018图1A是常规滤色镜配置的一部分的平面0019图1B是另一常规滤色镜配本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于在接收器元件上形成多个非连续特征的方法，所述方法包括：　在多通道成像头的第一次扫描期间操作所述成像头，其中所述成像头相对于所述接收器元件沿着扫描路径前进，以通过热转印过程把第一和第二非连续特征从施主元件转印到所述接收器元件，其 中所述第一和第二特征另外至少在副扫描方向上在空间上彼此分离；以及　在所述成像头的第二次扫描期间操作所述多通道成像头以通过热转印过程把第三非连续特征从所述施主元件转印到接收器元件，其中所述第三特征至少在副扫描方向上在所述第一和第二特征之 间，并且至少在副扫描方向上在空间上与所述第一和第二特征中的每一个分离。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：G西尔顿，
申请(专利权)人：加拿大柯达图形通信公司，
类型：发明
国别省市：CA[加拿大]