【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】涂布非连续特征图案的方法和设备相关申请0001本申请要求2006年6月30日提交的、名称为"涂布非连续特征图案的方法和装置"的美国临时申请号60/806,452的优先权。駄领域0002本专利技术涉及成像系统和方法。本专利技术的实施例提供了用于对非连续特征(non-contiguous feature)图^iS4亍成f象的方法和设备。本专利技术可适用于,例如制造用于电子显示器的滤色镜(color filter)。
技术介绍
0003用于制it^示器和半导体电子器件的常用技术包括若干成像步骤。典型地,在齡步骤中,涂有抗蚀剂或其它敏感材料的衬底(substote) fflil光工具掩模(photo-tool mask)暴露给辐射以实现一些改变。*步骤具有有限的失败风险。在齡步骤失败的可能性减少了总的过程产量且增加了成品的成本。0004特定示例是制造用于诸如液晶显示器之类的平板显示器的滤色镜。由于材料的高成本以及低的过程产量,滤色镜制造是非常昂贵的过程。传统照相平板印刷处理包括4OT涂布技术把彩色抗蚀材料涂布到衬底,所述涂布技术诸如旋转涂布、狭缝^&定转涂布或非旋转涂布 ...
【技术保护点】
一种用于在接收器元件上形成多个非连续特征的方法,所述方法包括: 在多通道成像头的第一次扫描期间操作所述成像头,其中所述成像头相对于所述接收器元件沿着扫描路径前进,以通过热转印过程把第一和第二非连续特征从施主元件转印到所述接收器元件,其 中所述第一和第二特征另外至少在副扫描方向上在空间上彼此分离;以及 在所述成像头的第二次扫描期间操作所述多通道成像头以通过热转印过程把第三非连续特征从所述施主元件转印到接收器元件,其中所述第三特征至少在副扫描方向上在所述第一和第二特征之 间,并且至少在副扫描方向上在空间上与所述第一和第二特征中的每一个分离。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员:G西尔顿,
申请(专利权)人:加拿大柯达图形通信公司,
类型:发明
国别省市:CA[加拿大]
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