用于修正成像规律图案的辉纹的方法和设备技术

按照预定的规律图案对多通道成像头进行校准，以使在规律图案成像期间扫描带到扫描带和扫描带间变化最小。按照预定的规律图案对成像头的成像参数进行优化。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及成像系统并且涉及用于评价和修正由规律图案的成像 造成的辉紋(banding)的方法。
技术介绍
制造显示器和半导体电子装置的通用技术牵涉到数个成像步骤。典 型地，在每个步骤中，使涂敷有抗蚀剂或其它感光材料的衬底通过光掩 膜暴露于辐射线，以实现某种变化。每个步骤具有一定程度的失败风 险。每个步骤失败的可能性降低了总体工艺产量并且增加了成品的成本。具体的例子是制造用于诸如液晶显示器之类的平板显示器的滤色 器。由于材料的成本较高并且工艺产量较低，滤色器制造可能是费用很 高的工艺。传统的光刻工艺牵涉到使用诸如旋涂、狭缝式涂布及旋转涂 布或非旋转(spin - less )涂布之类的涂布技术将着色抗蚀材料施加到 衬底上。然后使该材料经由光掩膜曝光并且显影。有人提议将直接成像用在显示器的制造中，尤其是用在滤色器制造 中。滤色器衬底，也称为染料接纳元件，用染料供给元件覆盖。对染料 供给元件进行图像状(image-wise)的加热，以选择性地将染料从供给 元件转印到接收元件。图像状加热典型地是借助激光束完成的。二极管 激光器尤其优选，因为它们易于调制、成本低并且尺寸小。染料转印工艺是本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种校准包括多个成像通道的成像头的方法，该方法包括：在由成像头成像的一个或多个扫描带内成像要素的规律图案，其中要素的规律图案；在至少副扫描方向上重复，和包括至少由多个成像通道的第一部分成像的第一要素和由多个成像通道的 第二部分成像的第二要素，第一和第二部分都少于所有的成像通道，并且第一要素和第二要素都成像在一个或多个扫描带中的同一个扫描带内；测量第一和第二要素中每一个的光学属性；和至少部分地基于所测量的光学属性，调整下列至少之一内的一个或 多个成像通道；所述多个成像通道的第一部分，和所述多个成像通道的第二部分，其中：在...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】US 2005-4-6 60/668,7991.一种校准包括多个成像通道的成像头的方法，该方法包括在由成像头成像的一个或多个扫描带内成像要素的规律图案，其中要素的规律图案在至少副扫描方向上重复，和包括至少由多个成像通道的第一部分成像的第一要素和由多个成像通道的第二部分成像的第二要素，第一和第二部分都少于所有的成像通道，并且第一要素和第二要素都成像在一个或多个扫描带中的同一个扫描带内；测量第一和第二要素中每一个的光学属性；和至少部分地基于所测量的光学属性，调整下列至少之一内的一个或多个成像通道所述多个成像通道的第一部分，和所述多个成像通道的第二部分，其中在进行要素的规律图案的后续成像时，使得第一和第二要素的光学属性基本上相同。2. 按照权利要求l所述的方法，其中对规律图案进行成像包括在 热转印工艺中成像所述规律图案。3. 按照权利要求l所述的方法，其中测量第一和第二要素中每一 个的光学属性包括测量第一要素和第二要素中每一个的光学密度。4. 按照权利要求3所述的方法，其中测量第一和第二要素的光学 密度包括测量在第一主扫描位置上的第一和第二要素中每一个的光学密度。5. 按照权利要求4所述的方法，包括测量至少第二主扫描位置上 第一和第二要素中每一个的光学密度。6. 按照权利要求5所述的方法，其中测量第一和第二要素中每一 个的光学密度包括用扫描仪系统扫描第 一和第二要素。7. 按照权利要求6所述的方法，包括沿着副扫描方向扫描第一和 第二要素。8. 按照权利要求6所述的方法，包括在焦点之外扫描第一和第二要素。9. 按照权利要求7所述的方法，包括输出来自扫描仪系统的扫描 数据，该扫描数据包括至少与第一主扫描位置相应的第一副扫描线，和 与第二主扫描位置相应的第二副扫描线。10. 按照权利要求9所述的方法，包括扫描表示要素的规律图案在 副扫描方向上的起始位置的区域。11. 按照权利要求9所述的方法，其中要素的规律图案的每个成员包括多种颜色中的至少一种，并且其中 第一和第二要素都包括相同的颜色；和该方法此外还包括分离扫描数据，以排除与至少第三要素相应的数 据，至少第三要素具有与第 一和第二要素的颜色不同的颜色。12. 按照权利要求9所述的方法，其中要素的规律图案包括滤色器 要素的图案，并且该方法包括分离扫描数据，以排除与至少第四要素相 应的数据，该至少第四要素对应于黑色矩阵的一部分。13. 按照权利要求9所述的方法，包括将第二副扫描线与第一副扫 描线对齐，其中将与第 一 副扫描线中的第 一 和第二要素相对应的数据沿 着副扫描方向与对应于第二副扫描线中的第一和第二要素的数据对齐。14. 按照权利要求13所述的方法，包括为第一和第二副扫描线中的 每一个生成1D FFT,以产生相应的第一和第二副扫描线空间频谱。15. 按照权利要求14所述的方法，其中将第二副扫描线与第一副扫 描线对齐包括沿着副扫描方向将第二副扫描线相对于第一副扫描线位 移至少部分地基于所述频谱中峰值的相位角的量。16. 按照权利要求14所述的方法，包括将与第一和第二副扫描线中 的至少一个相应的扫描数据乘以Hanning窗口函数。17. 按照权利要求14所述的方法，包括 识别每个频谱内的主峰值； 确定主峰值中每一个的相位角，和 基于相应的相位角对齐副扫描线。18. 按照权利要求13所述的方法，包括对与第 一副扫描线中的第 一要素相应的数据和与第二副扫描线中 的第一要素相应的数据进行求平均，以产生第一识别标志元素，和对与第 一副扫描线中的第二要素相应的数据和与第二副扫描线中 的第二要素相应的数据进行求平均，以产生第二识别标志元素。19. 按照权利要求18所述的方法，其中一个或多个扫描带包括第一 扫描带和至少第二扫描带，该方法此外还包括在第一和第二扫描带中的每一个之内成像第一和第二要素； 对与第一扫描带相应的第一识别标志元素和与第二扫描带相应的第一识别标志元素进行求平均，以产生平均的第一识别标志元素，和 对与第一扫描带相应的第二识别标志元素和与第二扫描带相应的第二识别标志元素进行求平均，以产生平均的第二识别标志元素。20. 按照权利要求18所述的方法，此外还包括通过调整至少一个成 <象通道来修正第 一 识另l！标志元素和第二识别标志元素之间的任何差异。21. 按照权利要求19所述的方法，此外还包括通过调整一个或多个成像通道来修正平均的第 一识别标志元素和平均的第二识别标志元素 之间的任何差异。22. 按照权利要求l所述的方法，包括使用成像头成像至少两个不 同的规律图案并且针对至少两个不同的规律图案中的每一个执行校准。23. 按照权利要求l所述的方法，其中要素的规律图案包括滤色器 要素的图案。24. 按照权利要求2 3所述的方法，其中滤色器要素包括多个不同颜 色的细长条带...

【专利技术属性】
技术研发人员：V卡拉修克，HR茨维克，WD张，JV卡斯帕，S阿夫鲁泽，
申请(专利权)人：加拿大柯达图形通信公司，
类型：发明
国别省市：CA[加拿大]