一种掩膜板存储装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种掩膜板存储装置，通过在压缩空气存储端口上设置可动件和传感器使得当所述存储盒放置的位置发生偏移或倾斜，所述出气口和进气口不能对准贴合或者完全不能贴合时，通过所述传感器发出警报声，提醒工作人员纠正所述存储盒的放置位置，从而避免所述压缩空气存储端口无法有效向所述存储盒输送压缩空气的情况出现，避免造成所述存储盒内放置的掩膜板受到污染。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体工艺中的光刻
，特别涉及一种掩膜板存储装置。
技术介绍
为避免掩膜板遭到污染，现有技术中通常将掩膜板保存于图1所示的掩膜板存储 装置内。如图1所示，现有技术的掩膜板存储装置包括存储盒110及压缩空气存储端口 120，所述存储盒110放置于所述压缩空气存储端口 120之上，所述存储盒110的底部对角 线位置的两角分别设置有进气口 111，所述压缩空气存储端口 120的顶部对角线位置的两 角分别设置有出气口 121，所述进气口 111同所述出气口 121的位置相对应，使得所述进气 口 111同所述出气口 121贴合对接。使用时，掩膜板100放置于所述存储盒110内，所述压 缩空气存储端口 120存储有高纯净化压缩空气，由于所述存储盒110并非完全密封的，压缩 空气存储端口 120内的压缩空气通过所述贴合对接的出气口 121和进气口 111不断冲入至 所述存储盒110内，从而起到避免颗粒物粘附在放置于所述存储盒110内的掩膜板100上 的作用。但现有技术的掩膜板存储装置在使用时，当工作人员将掩膜板放置于所述存储盒 中并将存储盒放置于所述压缩空气存储端口上时，无法确保所述存储盒完全对准放置于所 述压缩空气存储端口上。当所述存储盒放置的位置发生偏移或倾斜，使得所述出气口和进 气口不能对准贴合或者完全不能贴合时，无疑会影响所述压缩空气存储端口向所述存储盒 输送压缩空气，从而造成所述存储盒内放置的掩膜板受到污染。一旦发生这种情况工作人 员也无法立即得知这种装置安放缺陷，从而不可避免的会产生掩膜板受到污染的损失。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是提供一种掩膜板存储装置，以解决现有技术的掩 膜板存储装置中，当存储盒放置于压缩空气存储端口上的位置发生偏移或倾斜时，工作人 员无法立即得知这种装置安放缺陷，从而造成存储盒内放置的掩膜板受到污染的问题。为解决上述技术问题，本技术提供一种掩膜板存储装置，包括存储盒及压缩 空气存储端口 ；所述存储盒放置于所述压缩空气存储端口之上，所述存储盒的底部对角线 位置的两角分别设置有进气口，所述压缩空气存储端口的顶部对角线位置的两角分别设置 有出气口，所述进气口同所述出气口的位置相对应，使得所述进气口同所述出气口贴合对 接，还包括可动件和传感器，所述每一可动件配合一所述传感器构成一套件，每一所述套件 分别对应安装于所述压缩空气存储端口上的一所述出气口附近；所述可动件垂直于所述存 储盒放置于所述压缩空气存储端口上的方向安装于所述压缩空气存储端口内且可进行上 下移动，所述可动件的一端位于所述压缩空气存储端口内，另一端位突出于所述压缩空气 存储端口 ；所述传感器垂直于所述可动件固定于所述压缩空气存储端口上，当所述可动件 向下移动到一定程度时所述传感器的一端同所述可动件相接触。可选的，所述可动件包括套筒、弹簧和移动杆，所述套筒固定于所述压缩空气存储端口内，所述弹簧固定于所述套筒内，所述移动杆垂直于所述存储盒放置于所述压缩空气 存储端口上的方向固定于所述弹簧上，所述移动杆的一端位于所述压缩空气存储端口内， 另一端位突出于所述压缩空气存储端口，随着弹簧的被压缩和伸张，所述移动杆可进行上 下移动；当所述移动杆向下移动到一定程度时所述传感器的一端同所述移动杆相接触。可选的，所述传感器为电压敏感型传感器。可选的，所述传感器通过固定螺栓固定于所述压缩空气存储端口上。本技术的掩膜板存储装置通过在压缩空气存储端口上设置可动件和传感器 使得当所述存储盒放置的位置发生偏移或倾斜，所述出气口和进气口不能对准贴合或者完 全不能贴合时，通过所述传感器发出警报声，提醒工作人员纠正所述存储盒的放置位置，从 而避免所述压缩空气存储端口无法有效向所述存储盒输送压缩空气的情况出现，避免造成 所述存储盒内放置的掩膜板受到污染。附图说明图1为现有技术的掩膜板存储装置结构示意图；图2为本技术的掩膜板存储装置结构示意图；图3为本技术的掩膜板存储装置中安装的可动件和传感器的俯视结构示意 图；图4为本技术的掩膜板存储装置中安装的可动件和传感器的侧视结构示意 图。具体实施方式为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，以下结合附图对本 技术的具体实施方式做详细的说明。本技术所述的掩膜板存储装置可广泛应用于硅片制造的多种工艺中，并且可 以利用多种替换方式实现，下面是通过较佳的实施例来加以说明，当然本技术并不局 限于该具体实施例，本领域内的普通技术人员所熟知的一般的替换无疑地涵盖在本实用新 型的保护范围内。其次，本技术利用示意图进行了详细描述，在详述本技术实施例时，为了 便于说明，示意图不依一般比例局部放大，不应以此作为对本技术的限定。请参看图2，图2为本技术的掩膜板存储装置结构示意图。如图2所示，本实 用新型的掩膜板存储装置包括存储盒210及压缩空气存储端口 220 ；所述存储盒210放置 于所述压缩空气存储端口 220之上，所述存储盒210的底部对角线位置的两角分别设置有 进气口 211，所述压缩空气存储端口 220的顶部对角线位置的两角分别设置有出气口 221， 所述进气口 211同所述出气口 221的位置相对应，使得所述进气口 211同所述出气口 221 贴合对接；还包括可动件223和传感器222。请结合参看图3和图4，图3为本技术的掩膜板存储装置中安装的可动件和 传感器的俯视结构示意图，图4为本技术的掩膜板存储装置中安装的可动件和传感器 的侧视结构示意图。如图2、图3和图4所示，所述每一可动件223配合一所述传感器222 构成一套件，每一所述套件分别对应安装于所述压缩空气存储端口 220上的一所述出气口动件223包括套筒225、弹簧2 和移动杆227，所述套筒225固定于所述 压缩空气存储端口 220内，所述弹簧226固定于所述套筒225内，所述移动杆227垂直于所 述存储盒210放置于所述压缩空气存储端口 220上的方向固定于所述弹簧2 上，所述移 动杆227的一端位于所述压缩空气存储端口 220内，另一端位突出于所述压缩空气存储端 口 220，随着弹簧2 的被压缩和伸张，所述移动杆227可进行上下移动；所述传感器222垂 直于所述可动件223通过固定螺栓224固定于所述压缩空气存储端口 220上，当所述移动 杆227向下移动到一定程度时所述传感器222的一端同所述移动杆227相接触。优选的， 所述传感器222为电压敏感型传感器。本技术的掩膜板存储装置在使用时，掩膜板200放置于所述存储盒210内，所 述压缩空气存储端口 220存储有高纯净化压缩空气，由于所述存储盒210并非完全密封的， 压缩空气存储端口 220内的压缩空气通过所述贴合对接的出气口 221和进气口 211不断冲 入至所述存储盒210内，从而起到避免颗粒物粘附在放置于所述存储盒210内的掩膜板200 上的作用。当工作人员将掩膜板200放置于所述存储盒210中并将存储盒210放置于所述 压缩空气存储端口 220上时，若所述存储盒210完全对准放置于所述压缩空气存储端口 220 上使所述出气口 221同所述进气口 211完全对准贴合，则所述存储盒210压迫所本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种掩膜板存储装置，包括：存储盒及压缩空气存储端口；所述存储盒放置于所述压缩空气存储端口之上，所述存储盒的底部对角线位置的两角分别设置有进气口，所述压缩空气存储端口的顶部对角线位置的两角分别设置有出气口，所述进气口同所述出气口的位置相对应，使得所述进气口同所述出气口贴合对接，其特征在于，还包括可动件和传感器，所述每一可动件配合一所述传感器构成一套件，每一所述套件分别对应安装于所述压缩空气存储端口上的一所述出气口附近；所述可动件垂直于所述存储盒放置于所述压缩空气存储端口上的方向安装于所述压缩空气存储端口内且可进行上下移动，所述可动件的一端位于所述压缩空气存储端口内，另一端位突出于所述压缩空气存储端口；所述传感器垂直于所述可动件固定于所述压缩空气存储端口上，当所述可动件向下移动到一定程度时所述传感器的一端同所述可动件相接触。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：李琦，刘文龙，高健，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：实用新型
国别省市：31