一种针卡调节装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公告了一种针卡调节装置，包括固定器、高低调节组件和针卡装夹组件，高低调节组件包括调节螺母、旋转轴、轴承、轴承座和调节旋钮；轴承固定在轴承座上，针卡装夹组件连接在轴承座下方，调节旋钮固定在旋转轴的上端，旋转轴中部与轴承内孔紧配合，旋转轴下端与调节螺母螺纹连接，调节螺母锁定在固定器上。本实用新型专利技术的针卡调节装置结构紧凑，使用方便，通用性好。使用时只需手动左右旋转调节旋钮，不需借用其他工具，就可以控制针卡的高低，从而可以方便、快捷的调节好其平行度。并且该针卡调节装置把高低调节组件和针卡装夹组件集合成一体，使其结构紧凑，可以移植到其它需要针卡调节的设备上，通用性好。（*该技术在2018年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种针卡调节装置。
技术介绍
目前，在开放式的探针台上多采用三根立柱支撑顶板的结构，针卡及 针卡装夹组件固定在顶板上，针卡平行度是通过调节三个立柱的高低来调 节的。由于三根立柱承载量相对较重，调节其高低时需使用专用扳手工具， 故较麻烦；且在封闭式的探针台上，即顶板与外壳锁定在一起时，这种针 卡调节方式就无法被采用。
技术实现思路
本技术就是为了克服以上的不足，提出了一种使用方便的针卡调 节装置。本技术的技术问题通过以下的技术方案予以解决 一种针卡调节 装置，包括固定器、高低调节组件和针卡装夹组件，所述高低调节组件包 括调节螺母、旋转轴、轴承、轴承座和调节旋钮；所述轴承固定在轴承座 上，所述针卡装夹组件连接在轴承座下方，所述调节旋钮固定在旋转轴的 上端，所述旋转轴中部与轴承内孔紧配合，所述旋转轴下端与调节螺母螺 纹连接，所述调节螺母锁定在固定器上。所述高低调节组件还包括用于抱紧或松开旋转轴的背紧器，所述背紧 器围绕旋转轴。所述背紧器为背紧螺母。所述固定器为固定盘。所述高低调节组件有三个，三个高低调节组件均匀布置在固定盘上。 所述轴承为关节轴承。本技术与现有技术对比的有益效果是本技术的针卡调节装 置结构紧凑，使用方便，通用性好。使用时只需手动左右旋转调节旋钮， 不需借用其他工具，就可以控制针卡的高低，从而可以很方便、快捷的调 节好其平行度。并且该针卡调节装置把高低调节组件和针卡装夹组件集合成一体，使其结构紧凑，可以移植到其它需要针卡调节的设备上，通用性 好。附图说明图1是本技术具体实施方式的结构示意图； 图2是本技术具体实施方式的高低调节组件的剖视示意图； 图3是本技术具体实施方式的针卡装夹组件的结构示意图。具体实施方式下面通过具体的实施方式并结合附图对本技术做进一步详细说明。如图1所示， 一种针卡调节装置，包括固定器l、高低调节组件2和 针卡装夹组件3。如图2所示，所述高低调节组件包括调节螺母21、旋转 轴23、轴承24、轴承座25和调节旋钮26;所述轴承24外圈固定在轴承 座25上，所述针卡装夹组件3连接在轴承座25下方，所述调节旋钮26 固定在旋转轴23的上端，所述旋转轴23中部与轴承24内孔紧配合(即零 间隙配合)，所述旋转轴23下端与调节螺母21螺纹连接，所述调节螺母 21锁定在固定器1上。显然，所述高低调节组件还可包括其它用来固定轴 承内外圈的零部件。如可利用轴套及锁紧螺母使旋转轴23与轴承24内圈 紧固为一体。如图3所示，针卡4装载在针卡装夹组件3上。如图2所示，所述高低调节组件2还包括用于抱紧或松开旋转轴的背 紧器22，所述背紧器22围绕旋转轴23。在本具体实施方式中，所述背紧 器22为背紧螺母。当松开背紧螺母时，旋转轴23可以沿轴向上升或下降， 当锁紧背紧螺母时，旋转轴23将被锁定，不能沿轴向上升或下降。如图1所示，所述固定器1为固定盘。所述高低调节组件2有三个， 三个高低调节组件2均匀布置在固定盘1上。通过调节三个高低调节组件 的高低，根据三点一面原理，可使针卡的平行度被精确调节。如图1、 2所示，所述轴承24为关节轴承。如图2、 3所示，所述轴承 座25与针盘31通过螺钉固定，从而与针卡装夹组件3连接在一起。本技术的工作原理如下将本装置通过固定盘1固定在探针台上 时，松开背紧螺母22，手动逆时针(顺时针)方向旋转调节旋钮26—周， 带动旋转轴23转动一周，其下端螺纹旋转一周，旋转轴23沿轴向上升(下 降) 一个导程的距离，从而带动轴承座25及连接在其下方的针盘31的近 点处上升(下降) 一定的距离。由于三个高低调节组件2中采用了关节轴承结构，使得调节某一高低调节组件2时，轴承座24上升(下降)不会发 生"卡死"的现象，它会自动随着旋转轴23的上升(下降)而摆动一定的 角度与之相适应；且关节轴承24内外圈都是无间隙配合安装，这样就能保 证高精度的调节要求而不会产生任何间隙。当根据"三点一面原理"完成 针卡平行度的调节后，锁紧背紧螺母22，使其在使用过程中不会发生任何 变动。本技术特别适合应用在半导体制造
，当然也可用在其他
以上内容是结合具体的优选实施方式对本技术所作的进一步详细 说明，不能认定本技术的具体实施只局限于这些说明。对于本实用新 型所属
的普通技术人员来说，在不脱离本技术构思的前提下， 还可以做出若干简单推演或替换，都应当视为属于本技术的保护范围。权利要求1. 一种针卡调节装置，其特征在于包括固定器、高低调节组件和针卡装夹组件，所述高低调节组件包括调节螺母、旋转轴、轴承、轴承座和调节旋钮；所述轴承固定在轴承座上，所述针卡装夹组件连接在轴承座下方，所述调节旋钮固定在旋转轴的上端，所述旋转轴中部与轴承内孔紧配合，所述旋转轴下端与调节螺母螺纹连接，所述调节螺母锁定在固定器上。2. 根据权利要求1所述的针卡调节装置，其特征在于所述高低调节组件 还包括用于抱紧或松开旋转轴的背紧器，所述背紧器围绕旋转轴。3. 根据权利要求2所述的针卡调节装置，其特征在于所述背紧器为背紧 螺母。4. 根据权利要求1-3任一所述的针卡调节装置，其特征在于所述固定器 为固定盘。5. 根据权利要求4所述的针卡调节装置，其特征在于所述高低调节组件 有三个，三个高低调节组件均匀布置在固定盘上。6. 根据权利要求5所述的针卡调节装置，其特征在于所述轴承为关节轴 承。专利摘要本技术公告了一种针卡调节装置，包括固定器、高低调节组件和针卡装夹组件，高低调节组件包括调节螺母、旋转轴、轴承、轴承座和调节旋钮；轴承固定在轴承座上，针卡装夹组件连接在轴承座下方，调节旋钮固定在旋转轴的上端，旋转轴中部与轴承内孔紧配合，旋转轴下端与调节螺母螺纹连接，调节螺母锁定在固定器上。本技术的针卡调节装置结构紧凑，使用方便，通用性好。使用时只需手动左右旋转调节旋钮，不需借用其他工具，就可以控制针卡的高低，从而可以方便、快捷的调节好其平行度。并且该针卡调节装置把高低调节组件和针卡装夹组件集合成一体，使其结构紧凑，可以移植到其它需要针卡调节的设备上，通用性好。文档编号G12B5/00GK201226255SQ20082009541公开日2009年4月22日 申请日期2008年7月3日 优先权日2008年7月3日专利技术者唐小飞, 杨应俊, 辜国文 申请人:深圳市矽电半导体设备有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种针卡调节装置，其特征在于：包括固定器、高低调节组件和针卡装夹组件，所述高低调节组件包括调节螺母、旋转轴、轴承、轴承座和调节旋钮；所述轴承固定在轴承座上，所述针卡装夹组件连接在轴承座下方，所述调节旋钮固定在旋转轴的上端，所述旋转轴中部与轴承内孔紧配合，所述旋转轴下端与调节螺母螺纹连接，所述调节螺母锁定在固定器上。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：辜国文，杨应俊，唐小飞，
申请(专利权)人：深圳市矽电半导体设备有限公司，
类型：实用新型
国别省市：94[中国|深圳]