【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种针对OLED(Organic Light Emitting Diode有机发光二极体面 板)的蒸镀工序中使用的
技术介绍
目前在针对OLED的蒸镀工序中，在基板的对角线上有2个对位码，在掩模板的相 应位置也有对位码，蒸镀机中使用的对位方式是用两个CCD摄像头测对位的方式，将基板 的对位码和掩模板的对位码进行对位。但这种方式需要反复取出掩模板和基板，将掩模板 遮住基板需要覆盖的区域，再放到装载腔室中蒸镀，该方法费时费力，并且遮盖时也很容易 发生对位不准确的问题。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是提供一种蒸镀时不需要卸载掩模板的基板。本专利技术还要提供一种蒸镀方法。本专利技术解决技术问题所采用的技术方案是基板，在所述基板的四个角上都设置 有对位码。蒸镀方法，将上述的基板装载到装载腔中，掩模板在要做材料测试的腔体上装载， 完成蒸镀后将所述基板放到缓冲腔中，将缓冲腔中的基台旋转90°，这样装载到缓冲腔的 基板也会跟着基台一起旋转90°，将旋转后的基板再传送到要做测试的腔体里，进行第二 次蒸镀。本专利技术的有益效果是由于在基板的四个角上都设置有对...
【技术保护点】
基板，其特征在于：在所述基板的四个角上都设置有对位码（１）。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：崔成晋，车炯坤，郭钟云，
申请(专利权)人：四川虹视显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：90[中国|成都]
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