下载基板及其蒸镀方法的技术资料

文档序号:5255909

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本发明提供一种蒸镀时不需要卸载掩模板的基板及其蒸镀方法。基板,在所述基板的四个角上都设置有对位码。蒸镀方法,将上述的基板装载到装载腔中,掩模板在要做材料测试的腔体上装载,完成蒸镀后将所述基板放到缓冲腔中,将缓冲腔中的基台旋转90°,这样装载...
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