【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种放电设备,具体地,涉及一种利用成圆弧状排列的针尖阵列对圆滚轴放电的放电设备,属于等离子体
技术介绍
常压等离子体技术近年来得到了迅速发展,并已得到广泛的应用。目前普遍采用的大气压等离子体技术主要是介质阻挡的高频高压放电,该技术是在两个电极之间至少放置一个介质,而放电是直接击穿的空气,放电所产生的局部微电弧电流比较大,一般是用于对高分子材料的表面改性和产生臭氧用于消毒。 但是由于介质阻挡放电在用于处理高分子材料时,容易在材料表面产生局部烧蚀,对材料表面的局部破坏比较大,对材料表面的处理也不均匀,从而影响了材料的性质。因此,需要一种在大气压下产生均匀辉光的空气等离子体放电的解决方案,能够解决上述相关技术中的问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种大气压辉光等离子体发生设备,可以在一系列针尖电极中的每个针尖电极的尖端使空气电离产生辉光放电,通过集成这些尖端辉光放电的区域,来形成大面积的放电通道。该设备可以对通过该放电通道的各种薄膜材料进行处理,尤其适合对各种敏感材料的表面进行改性处理。 根据本技术,提供了一种放电设备,该放电设备包括电极阵列,设置成圆弧状,并连接至高频脉冲电源;圆滚轴,由金属制成,并设置成与圆弧状的电极阵列同圆心,用于在接通高频脉冲电源时,在其与电极阵列之间进行放电。 优选地,该放电设备还包括导向轴,设置在圆滚轴下部的两侧,用于使待处理的薄膜压紧至圆滚轴,并在电极阵列与圆滚轴之间通过。 优选地,电极阵列设置在圆弧形金属板上。 优选地,电极阵列中的每个电极之间的距离相等。 优选地,电极阵列中的每个电极都与圆弧形金属板绝缘。 ...
【技术保护点】
一种放电设备,其特征在于,包括:电极阵列,设置成圆弧状,并连接至高频脉冲电源;圆滚轴,由金属制成,并设置成与圆弧状的电极阵列同圆心,用于在接通所述高频脉冲电源时,在其与所述电极阵列之间进行放电。
【技术特征摘要】
一种放电设备,其特征在于,包括电极阵列,设置成圆弧状,并连接至高频脉冲电源;圆滚轴,由金属制成,并设置成与圆弧状的电极阵列同圆心,用于在接通所述高频脉冲电源时,在其与所述电极阵列之间进行放电。2. 根据权利要求1所述的放电设备,其特征在于,所述放电设备还包括导向轴,设置在所述圆滚轴下部的两侧,用于使待处理的薄膜压紧至所述圆滚轴,并在所述电极阵列与所述圆滚轴之间通过。3. 根据权利要求2所述的放电设备,其特征在于,所述电极阵列设置在圆弧形金属板 上。4. 根据权利要求3所述的放电设备,...
【专利技术属性】
技术研发人员:杨景华,张超前,赵玲利,王守国,
申请(专利权)人:中国科学院微电子研究所,
类型:实用新型
国别省市:11[中国|北京]
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