电致发光装置的发光单元及其制造方法制造方法及图纸

一种电致发光装置的发光单元及其制造方法，此电致发光装置的发光单元包括电源线、第一电极层、发光层以及第二电极层。电源线位于基板上。第一电极层位于基板上，且第一电极层与电源线电性连接，其中第一电极层的顶部的含氧量高于第一电极层的底部的含氧量。发光层位于第一电极层上。第二电极层位于发光层上。本发明专利技术可以增加电致发光装置的整体开口率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种，尤其涉及一种有机电 致发光装置的发光单元及其制造方法。
技术介绍
有机电致发光装置具有轻薄、自发光、低消耗功率、不需背光源、无视角限制 及高反应速率等优良特性，已被视为平面显示器的明日之星。另外无源式有机电致发光 装置可在轻薄、可挠式的基材上形成阵列结构，所以也非常适合应用于照明，一般预估 有机发光装置的发光效率提升至100Lm/W以上，且演色性高于80以上时，即有机会取 代一般照明光源，因此有机发光装置在照明设备上将扮演非常重要的角色。在大面积有机电致发光装置中，若有一颗异物存在就有可能造成整个有机发光 装置发生短路。因此，一般会将大面积有机发光装置分成多个小面积区块的发光单元， 并且在每一个发光单元上接上电阻线。所述电阻线可以使得发光单元发生短路时，限制 通过所述发光单元的电流量进而使其他发光单元不会受到影响。然而，上述电阻线的设 置会降低有机发光装置整体的开口率。
技术实现思路
本专利技术提供一种，其可以解决公知在有 机电致发光装置中设置电阻线会降低有机发光装置整体的开口率的问题。本专利技术提出一种电致发光装置的发光单元，其包括电源线、第一电极层、发光 层以及第二电极层。电源线位于基板上。第一电极层位于基板上，且第一电极层与电源 线电性连接，其中第一电极层的顶部的含氧量高于第一电极层的底部的含氧量。发光层 位于第一电极层上。第二电极层位于发光层上。本专利技术提出一种电致发光装置的发光单元的制造方法。此方法包括在基板上形 成电源线。在基板上形成第一电极层，其中第一电极层与电源线电性连接，且形成第一 电极层包括进行沉积程序，所述沉积程序包括通入氧气，且所通入的氧气的量随着沉积 程序的时间而增加。在第一电极层上形成发光层。在发光层上形成第二电极层。基于上述，由于本专利技术的电致发光装置的发光单元的第一电极层的顶部的含氧 量高于第一电极层的底部的含氧量，以使第一电极层与发光层接触之处具有较大的电阻 值。如此一来，当某一个发光单元发生短路时，因其第一电极层的顶部的电阻值较高因 而可限制通过所述发光单元的电流量，进而使其他发光单元不会受到影响。换言之，本 专利技术使用具有顶部较高氧含量的第一电极层可以省略传统电阻线，因而可以增加电致发 光装置的整体开口率。为让本专利技术的上述特征和优点能更明显易懂，下文特举实施例，并配合所附附 图作详细说明如下。附图说明图1是根据本专利技术一实施例的电致发光装置的局部俯视示意图。图2是图1沿着A-A’剖面线的剖面示意图。图3是根据本专利技术另一实施例的电致发光装置的局部俯视示意图。图4是图3沿着B-B，剖面线的剖面示意图。其中，附图标记说明如下100 基板108:绝缘层106:第一电极层106a 底部106b 顶部110:有机发光层112:第二电极层U发光单元PL 电源线具体实施方式图1是根据本专利技术一实施例的电致发光装置的局部俯视示意图。图2是图1沿 着A-A’剖面线的剖面示意图。为了清楚的说明本实施例，图1示出电致发光装置的部 分的发光单元，一般来说电致发光装置是由多个发光单元U所构成。另外，图1仅示出 部分发光单元的电源线以及第一电极层，实际上，电致发光装置的发光单元的组成膜层 是示出在图2。请参照图1与图2，本实施例的电致发光装置的制造方法首先提供基板100。基 板100的材质可为玻璃、石英、有机聚合物、塑胶、可挠性塑胶或是不透光/反射材料等 等。接着，在基板100上形成电源线PL。形成电源线PL的方法例如是先进行沉积程序 以在基板100上形成导电层(未示出)，之后再以光刻以及蚀刻程序图案化所述导电层以 形成多条电源线。电源线PL主要是提供各发光单元U所需的电力，因此电源线PL在延 伸至基板100边缘之处会与电源供应装置电性连接。基于导电性的考虑，电源线PL—般 是使用金属材料，例如是铜、铝、银、金、钛、钼、钨、铬以及其合金或叠层。然而， 本专利技术不限于此。根据其他实施例，电源线PL也可以使用其他导电材料，例如合金、金 属材料的氮化物、金属材料的氧化物、金属材料的氮氧化物、或其它合适的材料)、或是 金属材料与其它导材料的堆叠层。之后，在基板100上形成第一电极层106，其中第一电极层106与电源线PL电 性连接，第一电极层106举例为阳极。在本实施例中，第一电极层106是与电源线PL直 接连接在一起。根据本实施例，所形成的第一电极层106的边缘与PL电源线的边缘可 以直接连接在一起，如此第一电极层106可与PL电源线电性连接。另外，第一电极层 106包括金属氧化物，例如是铟锡氧化物、铟锌氧化物、铝锡氧化物、铝锌氧化物、铟锗 锌氧化物、铟氧化物(indium oxide)、锗氧化物(gallium oxide)、锌氧化物(zinc oixde)、 锡氧化物(tin oxide)、钼氧化物(molybdenum oxide)、钒氧化物(vanadium oxide)、锑氧化物(antimony oxide)、铋氧化物(bismuth oxide)、铼氧化物(rhenium oxide)、钽氧 化物(tantalum oxide)、钨氧化物(tungsten oxide)、铌氧化物(niobium oxide)、镍氧化物 (nickel oxide)或其它合适的金属氧化物、或者是上述至少二者的堆叠层。特别是，形成第一电极层106的方法包括进行沉积程序，且所述沉积程序包括 通入氧气，而且所通入的氧气的量随着沉积程序的时间而增加。根据本实施例，上述的 沉积程序包括还包括通入惰性气体，且氧气与惰性气体的流量比例随着沉积程序的时间 从1 10增加至1 1。上述的惰性气体包括氩气、氦(He)、氖(Ne)、氩(Ar)、氪 (Kr)、氙(Xe)、氡(Rn)或是其组合。以上述沉积程序所形成的第一电极层106其顶部106b的含氧量高于其底部10 的含氧量。较佳的是，第一电极层106中的含氧量是从其底部10 往顶部10 逐渐增 加。也就是，第一电极层106中的氧含量是从其底部10 往顶部10 渐层地增加。本发 明不限第一电极层106中的氧含量是从其底部10 往顶部10 是以何种渐层形式增加。 换言之，第一电极层106中的含氧量是从其底部10 往顶部10 可以是以阶梯形式、直 线形式或是曲线形式增加。根据本实施例，第一电极层106的含氧量从其底部10 往顶 部106b的变化为50mol% 70mol%。由于第一电极层106中的含氧量是从其底部10 往顶部106b逐渐增加，因此第 一电极层106的电阻值是从其底部10 往顶部10 逐渐增加。在本实施例中，第一电极 层106的电阻率从其底部106a往顶部106b的变化为1.5Χ1(Γ4Ω · cm至5000 Ω · cm。值得一提的是，传统的电致发光装置的制造过程之中，于基板上形成第一电极 层之后，都会对第一电极层的表面进行紫外光-臭氧处理程序，以使第一电极层具有适 当的工作函数(work function)。然而，在本实施例中，因第一电极层106的顶部具有较 高的含氧量，因此第一电极层106已经具备适当的工作函数(work fonction)的性质，因而 本实施例在形成第一电极层106之后无须进行上述的紫外光-臭氧处理程序。另外，一 般来说，具有高本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电致发光装置的发光单元，包括：一第一电极层，位于一基板上，其中该第一电极层的顶部的含氧量高于该第一电极层的底部的含氧量；一发光层，位于该第一电极层上；以及一第二电极层，位于该发光层上。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王惠珺，陈介伟，方俊雄，
申请(专利权)人：友达光电股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]