【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及微粒子测量，尤其是涉及一种多节点控制的微粒子测量装置及方法。
技术介绍
1、一般而言，市售的多点采样系统可采用特定的粒子计数器在不同位置分别进行粒子污染的监测。
2、然而，市售的多点采样系统通常仅能连接特定粒子计数器且其专属控制器通常仅能通过计算机并搭配专属软件进行编程后才能使用，造成使用上的诸多限制。
3、此外，若市售的多点采样系统为转盘式微粒监控系统，由于其内部具有旋转式的机械结构元件，容易磨耗而产生非预期的粒子污染问题。
4、因此，现有技术所遭遇到的上述问题仍有待解决。
技术实现思路
1、有鉴于此，本专利技术提出一种多节点控制的智能型微粒子测量装置及方法，藉以有效解决现有技术所遭遇到的上述问题。
2、根据本专利技术的一实施例为一种微粒子测量装置。在此实施例中，微粒子测量装置包括控制模块、多个气体输入通道、通道选择模块及微粒子计数模块。控制模块用以根据输入信号产生控制信号。通道选择模块信号耦接控制模块且连接该多个气体输入通道...
【技术保护点】
1.一种微粒子测量装置，包括：
2.如权利要求1所述的微粒子测量装置，还包括：
3.如权利要求2所述的微粒子测量装置，还包括：
4.如权利要求1所述的微粒子测量装置，还包括：
5.如权利要求1所述的微粒子测量装置，其中该通道选择模块包括：
6.如权利要求1所述的微粒子测量装置，还包括真空泵，其中该真空泵对该微粒子计数模块抽真空以自该通道选择模块导入该待测气体。
7.一种微粒子测量方法，应用于微粒子测量装置，该微粒子测量方法包括下列步骤：
8.如权利要求7所述的微粒子测量方法，其中步骤(...
【技术特征摘要】
1.一种微粒子测量装置，包括：
2.如权利要求1所述的微粒子测量装置，还包括：
3.如权利要求2所述的微粒子测量装置，还包括：
4.如权利要求1所述的微粒子测量装置，还包括：
5.如权利要求1所述的微粒子测量装置，其中该通道选择模块包括：
6.如权利要求1所述的微粒子测量装置，还包括真空泵，其中该真空泵对该微粒子计数模块抽真空以自该通道选择模块导入该待测气体。
7.一种微粒子测量方法，应用于微...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘康楝，陈炤燕，
申请(专利权)人：友达光电股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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