用于牺牲层释放的二氧化碳固态升华装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种用于牺牲层释放的二氧化碳固态升华装置，该装置至少包括过滤器（１）、暂存罐（２）、恒流恒压泵（３）、流量计（４）、主工作腔室（５）、温度压力控制装置（７）和分离器（１０），其中，过滤器（１）、暂存罐（２）、恒流恒压泵（３）、流量计（４）、主工作腔室（５）和分离器（１０）依次连接，温度压力控制装置（７）连接于主工作腔室（５），分离器（１０）连接于过滤器（１），分离器（１０）与过滤器（１）构成循环回路。利用本实用新型专利技术，有效地解决了牺牲层释放工艺中的粘连效应。同时，二氧化碳在相态转换时压力可调，消除了有机置换液凝固时的涨裂现象。二氧化碳的使用更加绿色环保，无有机污染，节约资源。（*该技术在2019年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种用于牺牲层释放的二氧化碳固态升华装置，其特征在于，该装置至少包括过滤器（１）、暂存罐（２）、恒流恒压泵（３）、流量计（４）、主工作腔室（５）、温度压力控制装置（７）和分离器（１０），其中，过滤器（１）、暂存罐（２）、恒流恒压泵（３）、流量计（４）、主工作腔室（５）和分离器（１０）依次连接，温度压力控制装置（７）连接于主工作腔室（５），分离器（１０）连接于过滤器（１），分离器（１０）与过滤器（１）构成循环回路。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：景玉鹏，惠瑜，高超群，
申请(专利权)人：中国科学院微电子研究所，
类型：实用新型
国别省市：11[中国|北京]