带加强肋的探针卡制造技术

本实用新型专利技术公开了一种带加强肋的探针卡，包括ＰＣＢ基板、探针，探针设置于ＰＣＢ基板的正面，ＰＣＢ基板的背面设置有加强肋；所述加强肋包括十字型支架，十字型支架设置于ＰＣＢ基板背面的中心。所述加强肋还包括圆环，圆环固定连接于十字型支架的四个臂上。本实用新型专利技术通过在ＰＣＢ基板的背面设置十字型加强肋，能够在高温下确保探针卡的表面将更加平整。（*该技术在2019年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种半导体测试设备，具体涉及一种带加强肋的探针卡。
技术介绍
现有的探针卡一般是由PCB基板和探针两部分组成的。为了保证探针卡在高温和 高压情况下保持稳定的平面形状， 一般在PCB的背面增加一块加强肋，并且加强肋的形状 一般为"工"字、"#"形设计。当探针卡受到高温时，可以依靠加强肋的作用，帮助探针卡尽 可能地维持平面形状。 但是经过长期的高温试验，发现工字形的加强肋效果并非最佳。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是提供一种带加强肋的探针卡，它可以在高温下 保持平整。 为解决上述技术问题，本技术带加强肋的探针卡的技术解决方案为 包括PCB基板、探针，探针设置于PCB基板的正面，PCB基板的背面设置有加强肋；所述加强肋包括十字型支架，十字型支架设置于PCB基板背面的中心。 所述加强肋还包括圆环，圆环固定连接于十字型支架的四个臂上。 所述圆环不少于两个。 本技术可以达到的技术效果是 本技术通过在PCB基板的背面设置十字型加强肋，能够在高温下确保探针卡 的表面将更加平整。以下结合附图和具体实施方式对本技术作进一步详细的说明 附图说明图1是本技术带加强肋的探针卡的示意图； 图2是加强肋的示意图。 图中附图标记说明 1为PCB基板， 2为加强肋， 21为十字型支架， 22为圆环。具体实施方式本技术带加强肋的探针卡，包括PCB基板1 、探针，探针设置于PCB基板1的正 面，如图1所示，PCB基板1的背面设置有加强肋2。 加强肋2设置于PCB基板1的中心。如图2所示，加强肋2包括十字型支架21、圆环22，圆环22固定连接于十字型支架21的四个臂上，圆环22不少于两个。 本技术通过设置十字型加强肋2，能够在高温下确保探针卡的表面将更加平整。权利要求一种带加强肋的探针卡，包括PCB基板、探针，探针设置于PCB基板的正面，PCB基板的背面设置有加强肋；其特征在于所述加强肋包括十字型支架，十字型支架设置于PCB基板背面的中心。2. 根据权利要求1所述的带加强肋的探针卡，其特征在于所述加强肋还包括圆环，圆 环固定连接于十字型支架的四个臂上。3. 根据权利要求2所述的带加强肋的探针卡，其特征在于所述圆环不少于两个。专利摘要本技术公开了一种带加强肋的探针卡，包括PCB基板、探针，探针设置于PCB基板的正面，PCB基板的背面设置有加强肋；所述加强肋包括十字型支架，十字型支架设置于PCB基板背面的中心。所述加强肋还包括圆环，圆环固定连接于十字型支架的四个臂上。本技术通过在PCB基板的背面设置十字型加强肋，能够在高温下确保探针卡的表面将更加平整。文档编号G01R1/04GK201548565SQ20092007472公开日2010年8月11日 申请日期2009年11月26日 优先权日2009年11月26日专利技术者桑浚之, 辛吉升 申请人:上海华虹Nec电子有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种带加强肋的探针卡，包括ＰＣＢ基板、探针，探针设置于ＰＣＢ基板的正面，ＰＣＢ基板的背面设置有加强肋；其特征在于：所述加强肋包括十字型支架，十字型支架设置于ＰＣＢ基板背面的中心。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：辛吉升，桑浚之，
申请(专利权)人：上海华虹NEC电子有限公司，
类型：实用新型
国别省市：31[中国|上海]