【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种太阳能电池生产用化学气相沉积仓室,具体的说是一种能自行降温的等离子体化学气相沉积仓室。
技术介绍
在太阳能电池生产过程中,太阳能电池在等离子体化学气相沉积设备内沉积PIN 层,其中沉积过程为在18(TC左右的等离子体化学气相沉积仓室内,通过放电等作用,使 硼烷、硅烷、磷烷沉积在太阳能电池上,形成太阳能电池的PIN结构。 上述过程中等离子体化学气相沉积设备仓室的温度大约在180°C,由于沉积的时 间较长,设备内部一直保持该温度,因为仓室主体为钢结构,所以长时间的高温对仓室的结 构会产生一定的影响(高温可能会引起形变),所以需要通过对仓室进行改进,使仓室主体 结构保持稳定。
技术实现思路
本技术的目的是要提供一种结构简单合理、能够对等离子体化学气相沉积设 备的仓室本身降温的沉积仓室。 本技术的目的是这样实现的该仓室包括仓室主体、反光板,所述的反光板设 置在仓室主体的内部。 所述的反光板分为四块分别设置在仓室主体内部的上、下、左右面上,由于仓室主 体的前后面需要分别进出电池片,所以不设置反光板。 本技术由于采用上述结构,即在仓室主体的内部上下左右增设了反光板,所 以在设备运行的过程中,太阳能电池进入仓室后,仓室内部开始加热,由于反光板的作用, 热量到反光板以后被反射,有效的控制了热量向仓室主体结构的扩散,防止了仓室主体由 于温度过高发生形变,不会影响设备的正常运行。附图说明图1为本技术整体结构示意图。图2为本技术正面投影图。具体实施方式由附图所示该降温装置包括仓室主体1、反光板2,所述的反光板2设置在仓室主 体l的内部。 所述的反光板2分为四块分别 ...
【技术保护点】
一种能自行降温的等离子体化学气相沉积仓室,该降温装置包括仓室主体(1),其特征在于:它还包括反光板(2),所述的反光板(2)设置在仓室主体(1)的内部。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:杨继泽,刘万学,张兵,王巍,程明辉,左腾,徐柏章,曲爽,
申请(专利权)人:吉林庆达新能源电力股份有限公司,
类型:实用新型
国别省市:22[中国|吉林]
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