水反应性Ａｌ复合材料、水反应性Ａｌ膜、该Ａｌ膜的制造方法、及成膜室用构成部件技术

本发明专利技术提供一种水反应性Ａｌ复合材料，其在选自杂质Ｃｕ量为４０ｐｐｍ以下的２ＮＡｌ～５ＮＡｌ中的Ａｌ中，以Ａｌ基准计，添加选自２～５ｗｔ％的Ｉｎ及０．７～１．４ｗｔ％的Ｂｉ的至少一种的金属而成。使用该材料制造的水反应性Ａｌ膜及该Ａｌ膜的制造。在表面具备有该水反应性Ａｌ膜的成膜室用构成部件。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及水反应性Al复合材料、水反应性Al膜、该Al膜的制造方法、及成 膜室用构成部件，特别是涉及使用将杂质Cu的量设定为规定的量的Al的水反应性Al复 合材料、由该水反应性Al复合材料形成的水反应性Al膜、该Al膜的制造方法、及用该 Al膜覆盖了的成膜室用构成部件。
技术介绍
在用于通过溅射法、真空蒸镀法、离子镀覆法、CVD法等形成薄膜的成膜装置 中，设置于该装置内的成膜室用构成部件，在成膜工艺中不可避免地附着由成膜材料形 成的金属或者金属化合物的膜。作为该成膜室用构成部件，可列举例如用于防止在基板 以外的真空容器内部附着膜的防附着板(防着板)、开闭器(〉W夕一)、用于仅在基 板的规定位置进行成膜的掩模、基板传送用托盘等。在成膜工艺中，在这些部件上也附 着与作为目标薄膜(应该在基板上形成的薄膜)相同组成的膜。这些部件通常在除去附 着膜后反复进行使用。在这些成膜室用构成部件上不可避免地附着的膜，根据成膜工艺的作业时间而 变厚，这样的附着膜由于其内部应力、反复的热履历所引起的应力从成膜室用构成部件 成为粒子而剥离，附着在基板上，成为膜缺陷的产生原因。因此，成膜室用构成部件在 不产生附着膜的剥离的阶段，从成膜装置取下，洗净而除去附着膜，之后进行表面精加 工，定期地进行称为再使用的再生。作为成膜材料，在使用例如Al、Mo、Co、W、Pd、Nd、In、Ti、Re、Ta、Au、Pt、Se、Ag等的有价金属的情况下，要求确立不给予向基板上的膜形成，而用于回 收附着在基板以外的构成部件上的金属、同时再生构成部件的处理技术。例如，在成膜装置中在为了防止向基板以外的装置内壁、各成膜室用构成部件 表面等的成膜材料的附着而使用的防附着板的情况下，现状是剥离在成膜时附带的附着 物而进行再利用。作为该附着物的剥离法，一般进行喷沙法，利用酸、碱的湿蚀刻法， 利用过氧化氢等的氢易碎性的剥离法，进而利用电分解的剥离法进行。该情况下，在实 施附着物的剥离处理时，由于防附着板也较多地溶解而受到损伤，因此在再利用次数上 存在限制。因此，期望开发尽量减少防附着板的损伤这样的膜剥离法。如果在上述喷沙法中发生的喷镀屑、在酸及碱处理等的药液处理中生成的废液 中的剥离了的附着膜的浓度低，则有价金属的回收费用变高，得不到收益。在这种情况 下，现状是作为废弃物处理。在上述药液处理中，另外，不仅药液自身的费用高，而且使用完的药液的处理 费用也高，因此另外从防止环境污染的方面来看，具有尽量减少药液的使用量的期望。 进而，如果进行如上所述的药液处理，则由于从防附着板剥离了的成膜材料变质为的新 的化学物质，因此从被剥离了的附着物只回收成膜材料进一步增加费用。因此，现状是仅将与回收成本相抵的单价的成膜材料成为回收对象。除如上所述的附着膜的剥离法以外，已知以下技术在具备用Al膜覆盖了的 构成部件的装置内实施成膜工艺，所述Al膜由具有在存在水分的氛围中发生反应而能溶 解的性质的水反应性Al复合材料形成，通过Al膜的反应·溶解使成膜中附着的膜剥 离·分离，从该被剥离了的附着膜回收成膜材料的有价金属(例如，参照专利文献1)。 该水反应性Al复合材料由Al或Al合金和In、Sn、In及Sn、或者它们的合金构成。现有技术文献专利文献专利文献1 特开2005-256063号公报(权利要求)
技术实现思路
专利技术要解决的课题本专利技术的课题在于解决上述的现有技术的问题点，在于提供使用杂质Cu量为 40ppm以下的Al的在存在水分的氛围中发生反应而能溶解的Al复合材料，由该Al复合 材料形成的Al膜、该Al膜的制造方法、及由Al膜覆盖了的成膜室用构成部件。用于解决课题的手段本专利技术的水反应性Al复合材料，其特征在于，自选自Al中存在的杂质Cu量为 40ppm以下、优选30ppm，更优选IOppm以下的2NA1 5NA1的Al中，以Al基准计，添加选自2 In及0.7 Bi的至少一种的金属而成。Al复合材料具有这种构成，由此由该材料得到的Al膜，在存在水分的氛围中容 易产生氢而溶解。杂质Cu的量超过40ppm时，在由Al复合材料得到的Al膜经过反复的热履历的 情况下，经过了在高的温度下的热履历的Al膜的溶解性恶化，其量增多时最终变得不溶 解。另夕卜，选自In及Bi的至少一种的金属的添加量分别为不到2wt%、0.7wt%时，与水 的反应性降低，超过5wt%、1.4wt%时，与水的反应性变得非常高，有时与大气中的水 分发生反应。在上述水反应性Al复合材料中，其特征在于，在Al中进一步添加以与Al中存 在的杂质Si量的总和计，在Al-In的情况下成为0.04 0.6wt%、优选0.04 0.2wt%， 在Al-Bi的情况下为0.25 0.7wt%的量的Si而成。Si为不到各自的下限时，与水的反 应性的控制效果降低，超过上限时，与水的反应性本身降低。本专利技术的水反应性Al膜的制造方法，其特征在于，将在选自杂质Cu量为40ppm 以下、优选30ppm、更优选IOppm以下的2NA1 5NA1的Al中以Al基准计添加了选自 2 5wt%的In及0.7 1.4wt%的Bi的至少一种的金属的材料熔融，以使得组成变得均 勻，将该熔融材料对于基材表面进行喷镀而使其急冷凝固，由此进行成膜。在上述制造方法中，其特征在于，作为材料，使用进一步添加以与Al中存在的 杂质Si量的总和计，在Al-In的情况下成为0.04 0.6wt%、优选为0.04 0.2wt%、在 Al-Bi的情况下成为0.25 0.7wt%的量的Si而成的材料。本专利技术的水反应性Al膜，其特征在于，其由上述水反应性Al复合材料形成。本专利技术的成膜装置的成膜室用构成部件，其特征在于，在表面具备有上述水反应性Al膜。上述构成部件，其特征在于，其为防附着板、开闭器或掩模。专利技术的效果由本专利技术的水反应性Al复合材料形成的Al膜，可通过喷镀等的简单的工艺以低 成本容易地进行制造。另外，即使经过来自300 350°C左右的成膜工艺的热履历后，仍 具有在存在水分的氛围中发生反应而能溶解的性质，同时通过使杂质Cu的量为规定量， 另外，通过添加规定量的Si，实现控制受到热履历前(膜的形成时)的活性度·溶解性 的效果。另外，实现经过高温热履历后的Al膜的溶解性保持在高的状态的效果。上述Al膜，由于在水分的存在下一边产生氢一边高效地溶解，因此如果使用具 备用该水反应性Al膜覆盖了的成膜室用构成部件(例如，防附着板、开闭器及掩模等) 的成膜装置进行成膜，则通过该Al膜的反应 溶解使由在成膜工艺中在防附着板等的表 面附着的成膜材料形成的不可避免的附着膜剥离·分离，实现可容易地从该被剥离了的 附着膜回收成膜材料的有价金属，另外，构成部件的再使用次数增加这样的效果。附图说明图1是表示对于在实施例1中得到的Al喷镀膜的热处理温度CC )与溶解电流密 度(mA/cm2)的关系的图。图2是表示对于在实施例2中得到的Al喷镀膜的热处理温度CC )与溶解电流密 度(mA/cm2)之间的关系的图。图3是表示从在实施例2中得到的带Al喷镀膜基材剥离了的附着膜的照片。图4是表示对于在实施例4中得到的Al喷镀膜的热处理温度(V )与溶解电流密 度(mA/cm2)的关系的图。图5是表示对于本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种水反应性Ａｌ复合材料，其特征在于，在选自杂质Ｃｕ量为４０ｐｐｍ以下的２ＮＡｌ～５ＮＡｌ中的Ａｌ中，以Ａｌ基准计，添加选自２～５ｗｔ％的Ｉｎ及０．７～１．４ｗｔ％的Ｂｉ的至少一种的金属而成。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】JP 2008-4-30 2008-1188541.一种水反应性Al复合材料，其特征在于，在选自杂质Cu量为40ppm以下的 2NA1 5NA1中的Al中，以Al基准计，添加选自2 5wt%的In及0.7 1.4wt%的Bi 的至少一种的金属而成。2.如权利要求1所述的水反应性Al复合材料，其特征在于，在所述Al中进一步添加 以与Al中存在的杂质Si量的总和计在Al-In的情况下成为0.04 0.6wt%、在Al-Bi的 情况下成为0.25 0.7wt%的量的Si而成。3.—种水反应性Al膜的制造方法，其特征在于，将在选自杂质Cu量为40ppm以下 的2NA1 5NA1中的Al中以Al基准计添加了选自2 5wt%的In及0.7 1.4wt%的Bi 的至少一...

【专利技术属性】
技术研发人员：门胁丰，斋藤朋子，林敬荣，虫明克彦，
申请(专利权)人：株式会社爱发科，
类型：发明
国别省市：JP