涂布装置和涂布方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供喷嘴数量少且不会在边界部产生不均匀的涂布装置和涂布方法。涂布装置通过多个涂料喷头（５１）涂布原色数量为Ｎ的涂料，来制造滤色器，其特征在于，由供给相同颜色的涂料的一个以上的涂料喷头（５１）构成了喷头模块（５２），该喷头模块（５２）以至少喷头模块（５２）的涂料排出宽度的两端邻接或重叠的方式，以间距Ｐ在扫描方向上排列，并且这些喷头模块（５２）在与扫描方向垂直的方向上连续排列了长度Ｌ，由此构成了喷头单元（５０），按该喷头单元（５０）的每个喷头模块（５２）依次改变颜色来供给涂料，并且，相对于滤色器的必要涂布宽度Ｗ，Ｌ满足下式：［式１］Ｌ≥Ｗ＋（Ｎ－１）×Ｐ（Ｎ＝１、２、３．．．）。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及。详细地讲，涉及在使多个涂料喷嘴与作为涂布 对象的基板在彼此相对且接近的状态下相对移动(扫描)的同时，在规定位置从多个涂料 喷嘴排出规定量的涂料的，特别适合应用于滤色器制造装置。
技术介绍
彩色液晶显示器由滤色器、TFT阵列基板等构成。其中，滤色器是构成彩色液晶显 示器的颜色形成中枢的部件，一般地，其是将由格子状的黑矩阵框起来的各像素分为R(红 色)、G (绿色)、B (蓝色)三种颜色，并将它们规则地形成在玻璃基板上而成的。这种滤色器通常通过如下方式来制造1)在玻璃基板上，形成黑色的光致抗蚀材 料的涂布膜，之后，通过光刻法将黑色涂布膜加工成格子状(格子状黑矩阵的形成)；2)暂 且在整个表面形成R的涂布膜，之后，通过光刻法，仅在格子间的R像素中保留R涂布膜(R 像素的形成)；3)针对G、B,也是通过与R同样的方法，暂且在整个表面形成B、G各自的涂 布膜，之后，仅在B、G像素中保留B、G涂布膜(B、G像素的形成)。在上述基于光刻法的R、 G、B像素形成中，需要针对R、G、B,进行在整个表面上形成涂布膜、曝光、显影等多个工序。近年来，为了简化上述工序，在工业上，已经在使用如本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种涂布装置，该涂布装置具有喷头单元，并且一边使该喷头单元与基板在扫描方向上进行相对移动，一边从所述喷头单元排出Ｎ种颜色的涂料，由此来制造滤色器，其中，所述喷头单元设置有多个排出单一颜色的涂料的喷头模块，能够涂布Ｎ种颜色的涂料，其中Ｎ＝１、２、３．．．，该涂布装置的特征在于，在所述喷头单元中，所述喷头模块以按Ｎ种颜色依次改变颜色的方式，按规定周期，在与扫描方向垂直的方向上以规定间距Ｐ排列了长度Ｌ，该长度Ｌ和待形成滤色器的滤色器形成区域的与扫描方向垂直的方向上的必要涂布宽度Ｗ之间的关系满足：Ｌ≥Ｗ＋（Ｎ－１）×Ｐ，其中，Ｎ＝１、２、３．．．。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：岩出卓，上原淳一，东野繁，友枝哲，
申请(专利权)人：东丽工程株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]