【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
【技术保护点】
一种用于创建一组晶片转移指令的计算机实现方法，用于在等离子粒团工具中在起始晶片保持位置和目的晶片保持位置之间转移晶片，所述等离子粒团工具具有多个晶片保持位置，所述计算机实现方法包括： 接收第一用户提供位置指示，所述第一用户提供位置指示 以图形方式识别在所述等离子粒团工具的屏幕图形表示上的所述起始晶片保持位置； 接收第二用户提供位置指示，所述第二用户提供位置指示以图形方式识别在所述等离子粒团工具的屏幕图形表示上的所述目的晶片保持位置； 确定与所述第一用户提供位置 指示和所述第二用户提供位置指示之间的路径相关的数据；以及 响应于与所述路径相关的数...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：克里斯多弗弗赖尔索格林森，
申请(专利权)人：朗姆研究公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]
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