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一种用于创建一组晶片转移指令的计算机实现方法，用于在具有多个晶片保持位置的等离子粒团工具中在起始晶片保持位置和目的晶片保持位置之间移动晶片。该方法包括接收第一用户提供位置指示和第二用户提供位置指示，该方法以图形方式识别分别在等离子粒团工具的...
该专利属于朗姆研究公司所有，仅供学习研究参考，未经过朗姆研究公司授权不得商用。

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