一种单晶硅棒切断机制造技术

本实用新型专利技术提供了一种单晶硅棒切断机。其一次性装夹工件后，通过驱动装置调节单晶硅棒的进给量，多次切断，能保证切断后单晶硅两端面的平行度，且工作效率高。其包括切割部分、进给部分、夹具，所述切割部分通过连接板连接所述进给部分，所述夹具支承于所述进给部分上端，其特征在于：所述进给部分包括Ｘ轴进给机构、Ｚ轴偏移机构，所述Ｘ轴进给机构、Ｚ轴偏移机构外露端各自连接其对应的驱动装置。（*该技术在2019年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及太阳能行业的单晶硅切断加工设备
，具体为一种单晶硅棒切断机。(二)
技术介绍
现有的单晶硅棒切断机，其工件夹紧后，每切断一次，需松开夹具，通过手动调节 单晶硅棒的进给量后，再夹紧夹具，由于单晶硅棒的表面不平滑，夹紧后会产生应力集中， 其经常松开和夹紧夹具保证不了切断工件两端面的平行度，影响加工质量，且调节费时费 力，工作效率低。
技术实现思路
针对上述问题，本技术提供了一种单晶硅棒切断机，其一次性装夹工件后，通 过驱动装置调节单晶硅棒的进给量，多次切断，能保证切断后单晶硅两端面的平行度，且工 作效率高。 其技术方案是这样的其包括切割部分、进给部分、夹具，所述切割部分通过连接 板连接所述进给部分，所述夹具支承于所述进给部分上端，其特征在于所述进给部分包括 X轴进给机构、Z轴偏移机构，所述X轴进给机构、Z轴偏移机构外露端各自连接其对应的驱 动装置。其进一步特征在于所述X轴进给机构包括X轴伺服电机、X轴联轴器、X轴滚珠丝杆、x轴轴承座、X轴直线导轨，所述X轴伺服电机输出端通过所述X轴联轴器连接所述X 轴滚珠丝杆的输入端，所述x轴滚珠丝杆支承于所述X轴轴承座内，所述X轴轴承座支承于 所述进给部分的机座，所述x轴伺服电机支承于所述机座，所述X轴滚珠丝杆通过丝杆螺母 连接其上部的x轴滑板，X轴直线导轨支承于所述机座，所述X轴滑板的底部与所述X轴直线导轨配合连接； 所述Z轴偏移机构包括Z轴伺服电机、Z轴联轴器、Z轴滚珠丝杆、Z轴轴承座、Z轴直线导轨，所述z轴伺服电机输出端通过所述z轴联轴器连接所述z轴滚珠丝杆的输入端，所述z轴滚珠丝杆支承于所述Z轴轴承座内，所述Z轴轴承座支承于所述X轴滑板，所 述z轴伺服电机支承于所述X轴滑板，所述z轴滚珠丝杆通过丝杆螺母连接其上部的z轴 滑板，z轴直线导轨支承于所述X轴滑板，所述z轴滑板的底部与所述z轴直线导轨配合连接； 所述Z轴滑板开有Z轴向的燕尾槽，燕尾上导轨和所述燕尾槽配合安装，所述夹具支承于所述燕尾上导轨，所述燕尾上导轨的一端连接有Z轴向的进给油缸； 所述夹具包括上支架、下支架，所述下支架紧固连接所述燕尾上导轨，所述上支架、下支架两端部分别配合连接，所述连接后的上支架、下支架的内端空腔内安装有夹紧块，所述夹紧块的非夹持端面连接关节轴承，所述关节轴承安装于轴承座内部，所述轴承座安装于所述上支架或下支架所开的安装通孔内，所述轴承座通过连接件连接外部驱动件； 其更进一步特征在于所述上支架、下支架的一端沿着夹持的单晶硅棒长度方向 上分别开有对应的通孔，所述上支架、下支架嵌套对应连接后，销轴通过其对应的通孔连接 所述上支架、下支架； 所述上支架的另一端开有垂直其连接端面的通孔，所述下支架的另一端开有安装 槽，螺栓的头部位于所述安装槽内，所述螺栓的头部通过销轴连接于所述下支架，所述螺栓 的螺栓部分贯穿所述上支架的另一端的通孔后，其螺栓端部安装有旋转手把；所述夹紧块 的非夹持端面通过连接支架连接连接关节轴承；所述外部驱动件具体为径向端旋转手把、 所述连接件具体为连接轴，所述连接轴一端连接所述轴承座，所述连接轴另一端连接所述 径向端旋转手把。 本技术的上述结构中，当所述夹具装夹完工件后，其通过对应的驱动装置完 成X轴进给和Z轴方向对刀具的对位，做到一次装夹，多次切断，能保证切断后单晶硅两端 面的平行度，且工作效率高。附图说明图1是本技术结构示意图； 图2是图1的左视图的结构示意图； 图3是图1的A处局部放大结构示意图； 图4是图2中夹具3局部放大结构示意图； 图5是图4的C-C剖局部放大结构示意图； 图6是图4的D处局部放大结构示意图。具体实施方式见图1、图2、图3、图4、图5、图6，本技术包括切割部分1、进给部分2、夹具3， 切割部分1通过连接板4连接进给部分2，夹具3支承于进给部分2上端，进给部分2包括 X轴进给机构、Z轴偏移机构，X轴进给机构、Z轴偏移机构外露端各自连接其对应的驱动装 置。X轴进给机构包括X轴伺服电机5、X轴联轴器6、X轴滚珠丝杆7、X轴轴承座8、X轴直 线导轨9， X轴伺服电机5输出端通过X轴联轴器6连接X轴滚珠丝杆7的输入端，X轴滚 珠丝杆7支承于X轴轴承座8内，X轴轴承座8支承于进给部分2的机座10， X轴伺服电机 5支承于机座10， X轴滚珠丝杆7通过丝杆螺母11连接其上部的X轴滑板12， X轴直线导 轨9支承于机座10， X轴滑板12的底部与X轴直线导轨9配合连接； Z轴偏移机构包括Z轴伺服电机13、 Z轴联轴器14、 Z轴滚珠丝杆15、 Z轴轴承座 16、 Z轴直线导轨17， Z轴伺服电机13输出端通过Z轴联轴器14连接Z轴滚珠丝杆15的 输入端，Z轴滚珠丝杆15支承于Z轴轴承座16内，Z轴轴承座16支承于X轴滑板12， Z轴 伺服电机13支承于X轴滑板12， Z轴滚珠丝杆15通过丝杆螺母18连接其上部的Z轴滑板 37，Z轴直线导轨17支承于X轴滑板12，Z轴滑板37的底部与Z轴直线导轨17配合连接； Z轴滑板37开有Z轴向的燕尾槽19，燕尾上导轨20和燕尾槽19配合安装，夹具 3支承于燕尾上导轨20，燕尾上导轨20的一端连接有Z轴向的进给油缸21 ; 见图4，夹具3包括上支架22、下支架23，下支架23紧固连接燕尾上导轨20，上支 架22、下支架23两侧部分别配合连接，下支架23的一端沿着夹持的单晶硅棒24长度方向上分别开有对应的通孔，上支架22、下支架23嵌套对应连接后，销轴25通过其对应的通孔 连接上支架22、下支架23 ;上支架22的另一端开有垂直其连接端面26的通孔，下支架23 的另一端开有安装槽27，螺栓28的头部位于所述安装槽27内，螺栓28的头部通过销轴29 连接于下支架23，螺栓28的螺栓部分贯穿上支架22的另一端的通孔后，其螺栓端部安装有 旋转手把30 ;连接后的上支架22、下支架23的内端空腔内安装有夹紧块31，夹紧块31的 非夹持端面通过连接支架32连接关节轴承33，关节轴承33安装于轴承座34内部，轴承座 34安装于上支架22或下支架23所开的安装通孔内，轴承座34通过连接轴35连接径向端 旋转手把36，连接轴35 —端连接轴承座34，连接轴35另一端连接径向端旋转手把36。 其工作原理如下夹持单晶硅棒24时，拧开旋转手把30，将上支架22绕着销轴25 旋转将其打开，放上单晶硅棒24，将上支架22绕着销轴25旋转至原位，拧紧旋转手把30关 闭上支架22，然后通过调节径向端旋转手把36，带动轴承座34在安装通孔内移动，进而通 过关节轴承33带动夹紧块31夹持单晶硅棒24。夹紧块31的非夹持端面连接关节轴承33， 由于关节轴承33可以在一定的范围内转动，故其可根据工件不平的表面进行自动调整，使 夹紧块10受力均匀。每个夹具夹紧单晶硅棒24后，通过X轴伺服电机5、Z轴伺服电机13 和Z轴向的进给油缸21分别调节其在X轴向的进给量、Z轴向的偏移量(配合切割部分1 的刀具位置)，然后切割取得需要的单晶硅棒长度。权利要求一种单晶硅棒切断机，其包括切割部分、进给部分、夹具，所述切割部分通过连接板连接所述进给部分，所述夹具支承于所述进给部分上端，其特征在于所述进给部分包括X轴进给机构、Z轴偏移机本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种单晶硅棒切断机，其包括切割部分、进给部分、夹具，所述切割部分通过连接板连接所述进给部分，所述夹具支承于所述进给部分上端，其特征在于：所述进给部分包括Ｘ轴进给机构、Ｚ轴偏移机构，所述Ｘ轴进给机构、Ｚ轴偏移机构外露端各自连接其对应的驱动装置。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：赵旭明，吴东晓，
申请(专利权)人：无锡机床股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：32[中国|江苏]