【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种微型压力传感器,安装于灌注剂推入器内,由封装管(8)以及设于该封装管(8)内的硅敏感组件、绝缘陶瓷棒(6)和引出电缆(11)组成,其特征在于,该硅敏感组件由具有C型膜结构的硅敏感元件(3)、与硅相似膨胀系数的玻璃环(2)和单晶硅盖帽(4)组成,该硅敏感元件(3)正面中部具有惠斯通电桥而背面环部与该玻璃环(2)环面固定,该玻璃环环周密封固定于该封装管(8)管口内并形成测压孔(21),该测压孔(21)内填充有压力传导介质,单晶硅盖帽(4)环部密封固定于该硅敏感元件(3)正面环部,并与该硅敏感元件(3)之间形成真空压力腔(7),该玻璃环(2)的另一环面固定于该绝缘陶瓷棒(6)端面,该绝缘陶瓷棒(6)上设有多条花键槽,该惠斯通电桥上各应变电阻分别通过金丝内引线(5)引出到该绝缘陶瓷棒上相应花键槽内,该引出电缆(11)上各引线分别引入到花键槽内,并与相应的金丝内引线焊接固定。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:杨惠林,孟斌,王文襄,王冰,丰金妹,陈亮,唐天驷,
申请(专利权)人:杨惠林,孟斌,苏州大学第一附属医院,昆山双桥传感器测控技术有限公司,
类型:实用新型
国别省市:32[]
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