多功能磁控溅射连续镀膜机制造技术

本实用新型专利技术所公开的是一种多功能磁控溅射连续镀膜机，包括箱体，工件承载车，工件承载车供电装置，溅射靶，抽真空和通气装置，电气控制装置和总控制器，以其箱体具有依次相互连接贯通的在前过渡真空处理室，第一镀膜室，第二镀膜室和在后过渡真空处理室；工件承载车设在所述箱体内且由ＰＬＣ控制器控制，而可前后往复运动；溅射靶是至少２组每组２个溅射靶，且同样布置在第一镀膜室和第二镀膜室内为主要特征。具有结构合理，生产工效高，能够镀布一层、二层和二层以上的多层复合镀层的特点，是一种特别适合生产槽式太阳能热发电系统集热管内管的一种镀膜设备。（*该技术在2019年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种多功能磁控賊射连续ltM机，具体涉及一种主要用 于类似太阳能热发电系统的集热管金属内管表面鄉莫的MM机，属于磁控溅 射li^设备技术。
技术介绍
诸如由本申请人申请的申请号为200910030111.6槽式太阳能热发电系统集热管的金属内管表面，镀布有#^目三氧化二铝镀层(业内称之为金属陶瓷 层)。所述金属陶资私艮，是由若干层纳米级厚度的钼膜层，和三氧化二铝膜 层相互交错镀布复合所构成。通过相邻钼膜层和三氧化二铝膜层界面的相互 渗透，构成所述#4目三氧化二铝金属陶资镀层，用以有效提高太阳能吸收率 和降低红外M射率，实5M在于金属内管内的工质导热油温度&U > 350°C 的目的。已有的石兹控賊射働莫冲几，由于结构性不足，而不能支持类似于上述金属 内管表面4^的连续MM生产。因此，提供一种能够支持类似于上述金属内 管表面g的连续MM设备，便成为业内的期盼。
技术实现思路
本技术旨在提供一种结构合理，生产效率高，能够镀布一层、二层和二层以上不同物质皿的多层复^na层的多功能磁控'賊射连续4M机，以 满足业内生产集热管尤其是生产太阳能热发电系统所用集热管的装备需求。本技术实现其目的的技术构想主要有以下四个方面 一是提供一种多室、多耙的箱体结构，为满足一层、二层和若干层不同物质膜层的^I4是供支持;二是提供一种可在箱体内前后往复运动的工件^r属管承载车的结构， 以满足至少各有一层不同物质M^复^&布的要求；同时对需要由若干层不 同物质皿相互交4m布构成多层复M层，提供支持；三是在相邻働莫室、 处理室之间，提供一种能够适时开闭的密封门结构，为不同作用的镀膜室和 处理室所l呆持的工艺条件，提供支持；四^i是供一种电气4空制装置，为连续 高效生产提供支持。通过由以上所述四个主要结构组合的本技术，既能 镀布一层镀膜的镀层；又能镀布二种不同物质的镀膜的复M层；也能镀布 二种以上不同物质的,_14目互交错的多层复合结构的镀层，从而实现本实 用新型的目的。基于上述技术构想，本技术实现其目的的技术方案是一种多功能石兹控溅射连续働莫机，包括箱体，工件承载车，工件7 义载车 的供电装置，賊射耙，抽真空和通气装置，电气控制装置和总控制器，其创新点在于a、 所述箱体，由在前过渡真空处理室，第一MM室，第二MI莫室和在后 过渡真空处理室依次串联组成一整体，且所述各室依次相互贯通；在前过渡 真空处理室的入口处和在后过渡真空处理室的出口处，及其所述各室相邻接 处，均设有由开闭启动机构驱动开闭的密闭门；b、 所述工件承载车，可在所述箱体内前后往复运动，它包括车架，设在 车架底部由包括第一电机在内的传动装置传动的具有4个行走轮和2根行走 轮轴的行走机构，分别与车架左、右两侧连接的工件安放架，与工件安放架 连接的且沿工件安放架上下布置的若干个由工件承插构件和工件定位构件对 称布置组成且可分别与工件两端装接的工件装接副，和由第二电机通过工件 承插构件的传动件驱动工件装接副旋转的传动装置；c、 所述工件承载车的供电装置，包括与总控制器电连接，且与箱体底部 连接的第一导轨和第二导轨；所述第一导轨和第二导轨，分别与工件承载车 的行走机构两侧的行走轮相对应布置；所述行走机构的4个行走轮，分别通 过绝缘轴套，与与车架固定连接的行走轮轴转动连接，处于车架两侧的2个行 走轮中的1个行走轮，分别与2个电刷构件电连接，电刷构件分别通过倒顺 控制开关和控制开关，与第一电初j和第二电才几电连4妄；d、 所述'减射耙，是至少2组每组2个賊射靶；所述至少2组每组2个溅 射靶，同样设在第""^莫室和第二皿室内；每1组的2个'践射扭，分别对 称布置在第 一导轨和第二导轨的外侧部位，且分开布置并与箱体底壁连接； 濺射耙的工作用电，由总控制器提供；也即是溅射靶与总控制器电连接；e、 所述抽真空和通气装置的第一真空泵，与在前过渡真空处理室管路连 接，第二真空泵与第一IM室管路连接；第三真空泵与第二劍莫室管路连接， 第四真空泵与在后过渡真空处理室管路连接；第一通气管与第一働莫室管路 连接，第二通气管与第二 室管路连接，第三通气管与在后过渡真空处理 室管路连接，第四通气管与在前过渡真空处理室管路连接；j、所述电气控制装置，包括设在工件承载车上的工件承载车运动电控装 置，和密闭门开闭启动电控装置；所述工件承载车运动电控装置所包括的PLC 可编程序控制器，分别控制第一电机的倒顺控制开关和第二电机的控制开关； 所述密闭门开闭启动电控装置所包括的2个用来开门的第一传感器，分别设 在所述在前过渡真空处理室，第一働莫室、第二働莫室和在后过渡真空处理 室两端的顶部，并与所述密封门保持一定距离，且分别与固设在工件承载车 前后两端的启动件相对应布置；用来关门的第二传感器，设在用来固装开闭启动机构的机架上，且与设在所述密闭门顶部的启动件相对应布置；所述第 一传感器和第二传感器，分别通过总控制器，控制与其对应的密闭门开闭启 动冲几构的驱动开关。由以上所给出的技术方案，结合本技术技术构想所描述的内容可以 明了，本技术实现了其所要实现的目的。考虑到第一働莫室和第二働莫室，两者的工作环境和工艺条件都有显著 的不同，为了避免可能发生的相互干涉，本技术主张，还包括中间过渡 室；所述中间过渡室，设在第一IM室与第二働莫室之间，且与第一働莫室 和第二 室相连接贯通；所述供电装置的第一导轨和第二导斩从中间过渡 室内穿过；中间过渡室的一端通过所述密闭门与第一働莫室连4妾，中间过渡 室的另一端，通过具有开闭启动机构的密闭门，与第二,室连接；第五真 空泵与中间过渡室管路连接。由于中间过渡室的存在，通iW中间过渡室工 艺务f牛的适时调处，可以有效避免所述第一働莫室与第二MM两者工作的相 互干涉。为了能够有效提高工件金属管在工件承载车上的装夹效率，以进一步提 高生产工效，本技术主张，所述工件承载车的工件装接副的工件承插构 件，包括第一圆锥台，和一端与第一圆锥台M接且与工件安放架动连接的 第一转轴，而所述传动件与第一转轴的另一端固定连接；所述工件定位构件， 包括第二圓锥台，和一端与第二圆锥台动连接且与工件安放架螺紋连接的丝杆，丝杆的另一端，固装有手4仑。所iiil一4支术方案，所给出的是工件卧式 快速装夹的结构形式。当然并不局限于此。例如采用类似于日光灯管与其两 端管座，所采用的弹性装夹结构，同样也是可以的。本技术主张，所述工件承载车的驱动工件装接副旋转的传动装置是 链传动装置，其所包括的第二电机，安装在工件承载车上，在第二电机的输 出轴端设有主动链轮；所述与工件承载车的工件承插构件固装的所述传动件 是从动链轮，环状链条与主动链轮和从动链轮相啮合装接。这是本技术 优选的一种驱动工件装接副旋转的传动装置。但不局限于此。例如采用齿轮 传动结构，或采用传动带传动结构等等，都是可以的。本技术主张，所述工件承载车的行走机构的传动装置是#轮传动 装置；其所包括的第一电机，安装在工件承载车上，在第一电机输出轴端固 装的主动伞齿轮，与固装在2根行走轮轴中1根行走轮轴上的从动#轮相 啮合。但不局限于此。例如采用传动带传动或链条传动等等，都是可以的。本实用新本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种多功能磁控溅射连续镀膜机，包括箱体（１），工件承载车（２），工件承载车的供电装置（３），溅射靶（４），抽真空和通气装置（７），电气控制装置（５）和总控制器（６），其特征在于：　　　　ａ、所述箱体（１），由在前过渡真空处理室（１－１），第一镀膜室（１－２），第二镀膜室（１－３）和在后过渡真空处理室（１－４）依次串联组成一整体，且所述各室依次相互贯通；在前过渡真空处理室（１－１）的入口处和在后过渡真空处理室（１－４）的出口处，及其所述各室相邻接处，均设有由开闭启动机构（１－１６）与第一镀膜室（１－２）管路连接，第二通气管（７－７）与第二镀膜室（１－３）管路连接，第三通气管（７－８）与在后过渡真空处理室（１－４）管路连接，第四通气管（７－９）与在前过渡真空处理室（１－１）管路连接；　　　　ｊ、所述电气控制装置（５），包括设在工件承载车（２）上的工件承载车运动电控装置（５－１），和密闭门开闭启动电控装置（５－２）；所述工件承载车运动电控装置（５－１）所包括的ＰＬＣ可编程序控制器（５－１－１），分别控制第一电机（２－２－２）的倒顺控制开关（Ｊ↓［１］、Ｊ↓［２］）和第二电机（２－５－１）的控制开关（Ｊ↓［３］）；所述密闭门开闭启动电控装置（５－２）所包括的２个用来开门的第一传感器（５－２－１），分别设在所述前过渡真空处理室（１－１）、第一镀膜室（１－２）、第二镀膜室（１－３）和在后过渡真气处理室（１－４）两端的顶部，并与所述密闭门（１－５、１－６、１－７、１－８、１－９）保持一定距离，且分别与固设在工件承载车（２）前后两端的启动件（５－２－２）相对应布置，用来关门的第二传感器（５－２－１′），设在用来固装开闭启动机构（１－１０）的机架上，且与设在所述密闭门顶部的启动件（５－２－２′）相对应布置；所述第一传感器（５－２－１）和第二传感器（５－２－１′），分别通过总控制器（６），控制与其对应的密闭门开闭启动机构（１－１０）的驱动开关（１－１０－３）。０）驱动开闭的密闭门（１－５、１－６、１－７、１－８、１－９）；　　　　ｂ、所述工件承载车（２），可在所述箱体（１）内前后往复运动，它包括车架（２－１），设在车架（２－１）底部由包括第一电机（２－２－２）在内的传动装置传动的具有４个行走轮（２－２－１）和２根行走轮轴（２－２－４）的行走机构（２－２），分别与车架左、右两侧连接的工件安放架（２－３），与工件安放架（２－３）连接的...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：郭廷玮，夏建业，
申请(专利权)人：常州博士新能源科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：32[中国|江苏]