带自锁功能的高精度移动平台制造技术

本实用新型专利技术涉及带自锁功能的高精度移动平台，解决了现有移动平台移动精度低、无法反馈具体的移动距离、无法满足振动环境使用要求的技术问题。包括底座、设置在底座上的动力传动装置和工作台，所述底座上设置有两条沿移动方向设置的平行导轨，所述动力传动装置包括步进电机、蜗轮蜗杆副、丝杠副以及设置在导轨内的多个导轨滑块，所述蜗轮蜗杆副包括蜗轮和蜗杆，所述丝杠副包括丝杠和丝杠滑块，所述蜗杆与步进电机同轴连接，所述蜗轮与丝杠同轴连接，所述丝杠滑块与工作台的底面固连，所述多个导轨滑块与工作台的底面固连。具有安装精度高。调节精度高。可反馈移动数据。可实现双向自锁，保证带自锁功能的高精度移动平台工作的稳定性。（*该技术在2018年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种移动平台，尤其涉及一种带自锁功能、可进行闭环控 制的移动平台。
技术介绍
为了满足仪器设备在振动环境中做高精度直线位移的需要，同时要求仪器在移动过程中直线移动精度应高于0.5pm，与移动方向的夹角应小于2角秒，并 且可根据反馈的移动距离信息自动控制移动距离；但是现有的移动平台无法达 到如此高的移动精度，而且无法反馈具体的移动距离，还会在随机振动过程中 因无法锁定而产生位移误差。
技术实现思路
本技术目的是提供一种带自锁功能的高精度移动平台，它解决了现有 移动平台移动精度低、无法反馈具体的移动距离、无法满足振动环境使用要求 的技术问题。本技术的技术解决方案是-一种带自锁功能的高精度移动平台，其特殊之处是所述的移动平台包括 底座、设置在底座上的动力传动装置和工作台，所述底座上设置有两条沿移动 方向设置的平行导轨，所述动力传动装置包括步进电机、蜗轮蜗杆副、丝杠副 以及设置在导轨内的多个导轨滑块，所述蜗轮蜗杆副包括蜗轮和蜗杆，所述丝 杠副包括丝杠和丝杠滑块，所述蜗杆与步进电机同轴连接，所述蜗轮与丝杠同 轴连接，所述丝杠滑块与工作台的底面固连，所述多个导轨滑块与工作台的底 面固本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种带自锁功能的高精度移动平台，其特征在于：所述的移动平台包括底座（１）、设置在底座（１）上的动力传动装置和工作台（５），所述底座（１）上设置有两条沿移动方向设置的平行导轨（６），所述动力传动装置包括步进电机（９）、蜗轮蜗杆副、丝杠副以及设置在导轨（６）内的多个导轨滑块（３），所述蜗轮蜗杆副包括蜗轮（８）和蜗杆（１０），所述丝杠副包括丝杠（２）和丝杠滑块（４），所述蜗杆（１０）与步进电机（９）同轴连接，所述蜗轮（８）与丝杠（２）同轴连接，所述丝杠滑块（４）与工作台（５）的底面固连，所述多个导轨滑块（３）与工作台（５）的底面固连。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张向辉，李英才，吴萌源，
申请(专利权)人：中国科学院西安光学精密机械研究所，
类型：实用新型
国别省市：87[中国|西安]