【技术实现步骤摘要】
本专利技术有关于一种调整装置,特别是有关于一种具有二维平行度调整功 能的调整装置。
技术介绍
在工业应用的许多工艺中,经常需要利用一个可移动式载台将其上所载 负的一平面向另一平面靠近,以利于后续的工艺的进行。而在要求较高精密 度的工艺中,通常会要求位在可移动式载台上的平面与其接近的另一平面间 的平行度,以确保工艺完成后的成品质量。例如在一个具有可移动式的平面接合头(BondHead)的接合系统中,当接合系统将平面接合头向前移动,以 接触欲接合的接合物的一平面,此时若平面接合头的平面与接合物的平面之 间的平行度不佳,则接合点的接合强度可能无法达到既定的要求,使得接合 质量无法满足要求的水平。一般解决前述二平面间的平面度不佳的方法,是在可移动式载台上设置 一平面度调整装置。但是一般常见的平面度调整装置,均有结构复杂、架设 不易、以及制造步骤繁复的缺点,因此需要设计一种新式的平行度调整装置。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题在于提供一种具有二维向度的平行度调整装 置,该平行度调整装置是利用简单的柱体配合渐变结构的凹槽,来简化平行 度调整装置的结构。本专利技术另一 ...
【技术保护点】
一种二维平行度调整装置,用以调整设置于该二维平行度调整装置上的一第一平面与相对于该第一平面的一基准平面间的平行度,其特征在于,该二维平行度调整装置至少包括: 一柱体,立设于该基准平面的上方,该柱体的侧面设有分别具备一第一渐变结构与一第 二渐变结构的一第一凹槽及一第二凹槽,其中该柱体在与该第一凹槽的底面相对的侧面设有一第一开口,且该柱体在与该第二凹槽的底面相对的侧面设有一第二开口,而该第一开口的法线及该第二开口的法线互相垂直; 一第一调整组件,至少包括: 一第一 推部,设于该第一凹槽中;以及 一第一接合部,设有一第一穿孔; 一第一推进组件,穿设 ...
【技术特征摘要】
1、一种二维平行度调整装置,用以调整设置于该二维平行度调整装置上的一第一平面与相对于该第一平面的一基准平面间的平行度,其特征在于,该二维平行度调整装置至少包括一柱体,立设于该基准平面的上方,该柱体的侧面设有分别具备一第一渐变结构与一第二渐变结构的一第一凹槽及一第二凹槽,其中该柱体在与该第一凹槽的底面相对的侧面设有一第一开口,且该柱体在与该第二凹槽的底面相对的侧面设有一第二开口,而该第一开口的法线及该第二开口的法线互相垂直;一第一调整组件,至少包括一第一推部,设于该第一凹槽中;以及一第一接合部,设有一第一穿孔;一第一推进组件,穿设于该第一穿孔中且接合在该柱体的侧面,该第一推进组件与该第一接合部接触,其中该第一推进组件的推进方向相同于该第一渐变结构的渐缩方向;一第二调整组件,至少包括一第二推部,设于该第二凹槽中;以及一第二接合部,设有一第二穿孔;以及一第二推进组件,穿设于该第二穿孔中且接合在该柱体的侧面,该第二推进组件与该第二接合部接触,其中该第二推进组件的推进方向相同于该第二渐变结构的渐缩方向。2、 根据权利要求1所述的二维平行度调整装置,其特征在于,该柱体是 一方形柱体,设有依序邻接的一第一侧面、 一第二侧面、 一第三侧面、及一 第四侧面;其中该第一开口位于该第一侧面,且该第一凹槽由该第二侧面贯穿延伸 至该第四侧面,而该第二开口位于该第二侧面,且该第二凹槽由该第一侧面 贯穿延伸至该第三侧面;其中该第一推进组件接合在该第二侧面,且该第二推进组件也接合在该 第二侧面。3、 根据权利要求l所述的二维平行度调整装置,其特征在于,该第一渐 变结构及该第二渐变结构均由平行于该柱体的一顶面的一第二平面及相对于 该第二平面的一倾斜面所组成。4、 根据权利要求3所述的二维平行度调整装置,其特征在于,该第一推 部及该第二推部均为一立方体。5、 根据权利要求4所述的二维平行度调整装置,其特征在于,每一所述立方体还在相对于该倾斜面的一第三平面上设有一半圆柱凸出部。6、 根据权利要求1所述的二维平行度调整装置,其特征在于,该柱体的 一顶面上还设有一螺丝,且该螺丝延伸穿设于该第一凹槽的相对二侧面之间, 而该第 一推部还设有一开口部,通过该开口部避免该第一推部与该螺丝互相 干涉;其中该二维平行度调整装置还包含有至少一弹簧垫片,该至少一弹簧垫 片由该螺丝锁附于该柱体的该顶面。7、 根据权利要求1所述的二维平行度调整装置,其特征在于,该柱体的 一...
【专利技术属性】
技术研发人员:黄明鸿,杜水年,林昆夆,
申请(专利权)人:东捷科技股份有限公司,
类型:发明
国别省市:71[中国|台湾]
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