【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及精密加工,具体涉及一种杠杆式连续加压研磨抛光设备,以及采用该设备实现的研磨抛光方法。
技术介绍
1、研磨抛光工艺作为现代精密制造体系的核心环节,其设备性能参数与工件表面质量指标存在显著的正相关性。根据国际制造工程学会(sme)技术报告显示,在超精密加工领域,设备性能对工件表面质量的贡献度高达67.3%。具体而言,研磨抛光设备的运动控制精度、压力调控稳定性以及热变形补偿能力三大核心性能指标,直接决定了加工后工件表面粗糙度。
2、当前,小型研磨抛光装置在商业化应用中主要采用气缸加压或机械旋转加压结构,其中气缸加压虽能实现较大压力范围(5-100n),但受限于加工精度和电气元件性能,压力控制精度仅达1n级且稳定性不足;机械加压结构则普遍存在精度差(±2n)和易过载问题。而在科研领域,高校及研究院多采用手动配重块加压方案,虽能实现0.5n级静态精度,但每次压力调整需拆卸重装配重,耗时长达5-10分钟,且无法实现渐变压力控制,即无法实现连续加压。
技术实现思路
1、针对现有
...【技术保护点】
1.杠杆式连续加压研磨抛光设备,其特征在于:包括工作台(1)和控制柜(5);所述工作台(1)上设有上研磨装置(2)、下研磨装置(3)以及无极加压装置(4);所述上研磨装置(2)包括A驱动装置(21)和上研磨盘(22),所述A驱动装置(21)用于驱动上研磨盘(22)转动;所述下研磨装置(3)包括下研磨盘(31)和B驱动装置(32),所述B驱动装置(32)用于驱动下研磨盘(31)转动;所述无极加压装置(4)包括基座(41)和杠杆组件(42);所述杠杆组件(42)包括与基座(41)铰接的安装架(421),以及设于安装架(421)上的C驱动装置(422)、A负重块(423)、
...【技术特征摘要】
1.杠杆式连续加压研磨抛光设备,其特征在于:包括工作台(1)和控制柜(5);所述工作台(1)上设有上研磨装置(2)、下研磨装置(3)以及无极加压装置(4);所述上研磨装置(2)包括a驱动装置(21)和上研磨盘(22),所述a驱动装置(21)用于驱动上研磨盘(22)转动;所述下研磨装置(3)包括下研磨盘(31)和b驱动装置(32),所述b驱动装置(32)用于驱动下研磨盘(31)转动;所述无极加压装置(4)包括基座(41)和杠杆组件(42);所述杠杆组件(42)包括与基座(41)铰接的安装架(421),以及设于安装架(421)上的c驱动装置(422)、a负重块(423)、b负重块(424);所述a负重块(423)与安装架(421)滑动配合,所述c驱动装置(422)用于驱动a负重块(423)移动;所述安装架(421)的前端铰接有活动环(43),所述活动环(43)上铰接有一对连接杆(44),所述连接杆(44)与上研磨装置(2)相连接;所述b负重块(424)设于安装架(421)的后端;工作时,通过控制a负重块(423)的位置,对上研磨盘(22)和下研磨盘(31)之间的工件施加所需的压力。
2.根据权利要求1所述的杠杆式连续加压研磨抛光设备,其特征在于:所述下研磨装置(3)的底部设有压力传感器(33);工作时,所述压力传感器(33)将数据反馈给控制柜(5),控制柜(5)控制c驱动装置(422)实时调控a负重块(423)的位置,使得施加给工件的压力保持在设定的范围内。
3.根据权利要求2所述的杠杆式连续加压研磨抛光设备,其特征在于:所述a驱动装置(21)与上研磨盘(22)之间设有自适应浮动连接装置(23);所述自适应浮动连接装置(23)包括与a驱动装置(21)传动连接的浮动杆(231)、与上研磨盘(22)相连接的浮动座(232)以及与浮动...
【专利技术属性】
技术研发人员:王金虎,刘文,夏宇栋,徐凡,吴赫杰,孔吉卫,袁巨龙,吕冰海,
申请(专利权)人:浙江工业大学,
类型:发明
国别省市:
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