探针测试设备制造技术

本申请提供一种探针测试设备，电源的正极与栅压供应出口之间设计具体电路；源极电流输入端连接第一分流电阻后连接功率MOSFET，功率MOSFET的输出端作为源极电流输出端；电流检测放大器与比较器分别基于电源正极的电压基准，依次连接于第一分流电阻与功率MOSFET的栅极之间，比较器的输出端连接至功率MOSFET的栅极；稳压调整电路中设置有二极管，及通过调整阻值得到所需栅压的第五调整电阻；针卡的源极电线通过源极电流输入端接入保护装置，保护装置中的源极电流输出端连接至探针；比较器输出端的输出电压可导通或断开功率MOSFET，保护针卡的探针免于过流高温产生氧化，并保持稳定电压输出所需栅压。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及半导体，具体而言涉及一种探针测试设备。

技术介绍

1、探针卡是晶圆和晶片测试环节的核心组件，提供了晶圆/硅芯片和测试仪器之间的电学连接。对功率器件的wafer(晶圆)进行测试，无法避免会测试到边缘不完整的d i e(芯片)。由于其不完整的特性，很可能源极供电电路短路，使通过针卡的电流瞬间增大，导致针卡的针尖发热氧化甚至熔毁。如图1所示，目前保护手段为给针卡安装保险丝。

2、此外，当需要测试背封尚未开启的功率器件时，由于drai n端(漏极)无法导通，需要借用邻近d i e做drai n端构成通路。此时需要给邻近d i e施加一个栅压，使器件开启。当前应对措施为制作针卡时，需要外接一个电池进行供电，然而干电池电压选择范围有限，且并无法保证稳定供电。

3、因此，需要一种探针测试的新方案。

技术实现思路

1、有鉴于此，本说明书实施例提供一种探针测试设备。

2、本说明书实施例提供以下技术方案：

3、本说明书实施例提供一种探针测试设备，包括：针卡、探针及保护装置本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种探针测试设备，其特征在于，包括：针卡、探针及保护装置；

2.根据权利要求1所述的探针测试设备，其特征在于，所述栅压供应出口连接至N沟道器件。

3.根据权利要求1所述的探针测试设备，其特征在于，所述第一分流电阻为mΩ级别。

4.根据权利要求1所述的探针测试设备，其特征在于，所述稳压调整电路并联有数位电压表。

5.根据权利要求1所述的探针测试设备，其特征在于，所述保护装置中还包括电源开关，所述电源开关设置于电源正极与电压比较功能电路之间；

6.根据权利要求1所述的探针测试设备，其特征在于，所述电流检测放大器包括TP181A1...

【技术特征摘要】

1.一种探针测试设备，其特征在于，包括：针卡、探针及保护装置；

2.根据权利要求1所述的探针测试设备，其特征在于，所述栅压供应出口连接至n沟道器件。

3.根据权利要求1所述的探针测试设备，其特征在于，所述第一分流电阻为mω级别。

4.根据权利要求1所述的探针测试设备，其特征在于，所述稳压调整电路并联有数位电压表。

5.根据权利要求1所述的探针测试设备，其特征在于，所述保护装置中还包括电源开关，所述电源开关设置于电源正极与电压比较功能电路之间；

6.根据权利要求1所述的探针测试设备，其特征在于，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：楼昊颢，彭吉华，
申请(专利权)人：上海积塔半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：