【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于金刚石制备，具体涉及一种新型谐振腔微波等离子体金刚石沉积装置。
技术介绍
1、金刚石具有极端物理化学性能，被誉为“材料之王”，它是自然界中硬度最高的材料，具有极高的热导率、较低的热膨胀系数、宽禁带、高击穿场强、极佳的光学透明性和高折射率等优异特性。鉴于以上特性使得金刚石广泛应用在超硬工具、大功率散热器件、光学领域、半导体器件及生物医学领域。天然金刚石形成的苛刻条件导致了其极为稀有，在一定程度上限制了金刚石实际应用，但金刚石合成工艺的高速发展让这些应用成为了可能。
2、金刚石较为常用的制备方法包括：高温高压法和化学气相沉积法，化学气相沉积法由于其制备的金刚石具有纯度高、尺寸大、可控性强等优点，正逐步取代高温高压法成为主流制备方法，其中，相比其他类型的化学气相沉积法，微波等离子体化学气相沉积法(mpcvd)的优势在于能够制备大面积高质量的金刚石，其一般采用金属材料作为腔体，并且制备单晶金刚石过程中没有催化剂和杂质的掺入，使得金刚石的质量得到改善。
3、随着mpcvd技术的进步和市场需求的增长，开始提高微...
【技术保护点】
1.一种新型谐振腔微波等离子体金刚石沉积装置，包括腔体(1)，其特征在于：还包括多个进气口(2)、多个测温观察窗口(3)、多个水平观察窗口(4)、石英玻璃环(5)、水冷台(6)、钼基片台(7)、等离子体(8)、天线(9)、微波馈入端口(10)和多个排气口(11)，所述腔体(1)的顶部中心壁面(12)为朝向腔体内部凸出的曲面，所述腔体(1)的侧上方壁面(14)是向腔体内部倾斜的正圆台面，所述腔体(1)的侧中间壁面(15)是圆柱壁面，所述腔体(1)的侧下方壁面(16)是倒正圆台面，所述顶部中心壁面(12)的曲面是由一段特征曲线绕腔体中心轴线旋转一周得到的曲面，所述顶部中心...
【技术特征摘要】
1.一种新型谐振腔微波等离子体金刚石沉积装置，包括腔体(1)，其特征在于：还包括多个进气口(2)、多个测温观察窗口(3)、多个水平观察窗口(4)、石英玻璃环(5)、水冷台(6)、钼基片台(7)、等离子体(8)、天线(9)、微波馈入端口(10)和多个排气口(11)，所述腔体(1)的顶部中心壁面(12)为朝向腔体内部凸出的曲面，所述腔体(1)的侧上方壁面(14)是向腔体内部倾斜的正圆台面，所述腔体(1)的侧中间壁面(15)是圆柱壁面，所述腔体(1)的侧下方壁面(16)是倒正圆台面，所述顶部中心壁面(12)的曲面是由一段特征曲线绕腔体中心轴线旋转一周得到的曲面，所述顶部中心壁面(12)的曲面与所述侧上方壁面(14)通过圆环形壁面(13)相连。
2.根据权利要求1所述的一种新型谐振腔微波等离子体金刚石沉积装置，其特征在于：所述侧上方壁面(14)与所述腔体(1)底部平面的夹角α的范围为30°-55°，所述侧下方壁面(16)与所述腔体(1)底部平面的夹角β范围为35°-65°。
3.根据权利要求1所述的一种新型谐振腔微波等离子体金刚石沉积装置，其特征在于：多个所述进气口(2)开设于所述腔体(1)顶部的所述圆环形壁面(13)上，多个所述测温观察窗口(3)和多个...
【专利技术属性】
技术研发人员：尹升智，阚存东，王晓伟，许美娟，
申请(专利权)人：上海利方达真空技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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